チャンバーソリューション上では
低振動およびメンテナンスフリー
メンテナンスフリーの安定した信頼できる性能をお求めであれば、当社のSTP磁気浮上ターボ分子ポンプシリーズが基準を定めます。ロータが磁気ベアリングにより完全に浮上しているため、長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気、ミニマムメンテナンスおよび低振動が求められる用途に最適です。
アドバンスドハイスループットシリーズ
アドバンストシリーズは、半導体エッチングおよびCVDプロセスに最適な高レベルの排気量を提供します：
- コンパクトな設置面積
- 排気速度300～4,500 l/s
- 最大6 slmの排気速度でH2、N2、およびArの性能向上。
- 完全一体型コントローラ&電源
- 超高真空
- 超高真空低振動シリーズ
完全一体型コントローラ&電源
このオールインワンターボポンプソリューションにより、従来は必要だった接続ケーブルとラックが不要となります：
- フットプリントの削減、貴重なファブの床面積と設置時間およびコストの節約
- オンボード電源により、高ガス流量でのエネルギー消費を最大32%削減
- 排気速度300～4,500 l/sで動作
超高真空
超高真空シリーズは、比類のない信頼性、性能、清潔さ、クラス最高の低振動レベルを実現します。
- 直流電源によりバッテリーが不要
- ハーフラックコントローラは、自動チューニングと高度な診断機能を完備
- 300～1,000 l/sの速度と到達圧力<10-10 mbarのCFフランジ
- 過酷なプロセス向けの「C」バージョンもご用意
超高真空低振動シリーズ
超高真空低振動バージョンには、超高真空シリーズの全機能に加えて、超低振動性能を実現するための内蔵防振装置が組み込まれています。
このオールインワンターボポンプソリューションにより、従来は必要だった接続ケーブルとラックが不要となります：
- フットプリントの削減、貴重なファブの床面積と設置時間およびコストの節約
- オンボード電源により、高ガス流量でのエネルギー消費を最大32%削減
- 排気速度300～4,500 l/sで動作
超高真空シリーズは、比類のない信頼性、性能、清潔さ、クラス最高の低振動レベルを実現します。
- 直流電源によりバッテリーが不要
- ハーフラックコントローラは、自動チューニングと高度な診断機能を完備
- 300～1,000 l/sの速度と到達圧力<10-10 mbarのCFフランジ
- 過酷なプロセス向けの「C」バージョンもご用意
超高真空低振動バージョンには、超高真空シリーズの全機能に加えて、超低振動性能を実現するための内蔵防振装置が組み込まれています。
- Edwards STP iXA4506 Large Capacity Turbopump Datasheet 245.8 kB, PDF
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