Das Spectra-Abgasmanagementsystem ist eine kostengünstige, zuverlässige und leistungsstarke Abgasreinigungslösung für die neuesten Herstellungsverfahren von Flachbildschirmen (FPD) und Solarzellen.
Abgasreinigung
• Einzigartige 4-stufige Verbrennungstechnologie
• Effiziente SiH4 Abgasreinigung
• Reinigungskapazität für hohen H2-Durchsatz
• Exzellentes Management von hohen Durchsätzen von NF3/F2
• Hohe NH3 Reinigungskapazität
• Modularer Aufbau von Abgasreinigung und Partikelmanagement
• 80 % Effizienz bei der Pulverentfernung
Sauergaswäsche
• Integrierter Nasswäscher
• Wasserumwälzeinheit zur Optimierung des Wasserverbrauchs
Pulverabscheidung
Spectra ZW2 – wassergekühlte Abgasreinigung mit Partikelabscheidung
• Modularer Nass-Elektrofilter (WESP)
• Entfernung von 99 % der Partikel
• Handling hoher Pulverlasten
• Niedrige Betriebskosten im Vergleich zu alternativen Lösungen Ich will auf dem Laufenden bleiben
