Edwards analyzátor procesních plynů – řízení procesů v reálném čase pro aplikace v polovodičovém průmyslu
iTrap® je kompaktní, vysoce citlivý hmotnostní spektrometr typu Fourier Transform (FTMS). Je to ideální nástroj pro analýzu a inline řízení procesů. Může být použit ve výzkumu i v produkčním prostředí. iTrap vás spolehlivě podporuje při detekci nejmenších stop vedlejších produktů nebo kontaminace reakce, pomáhá vám ověřovat účinnost čištění a analyzovat zdraví komory. Hmotové spektrum se měří téměř v reálném čase a vy můžete ve své procesní komoře vystopovat velmi malé množství molekul. iTrap je výkonný nástroj v rukou výzkumného pracovníka nebo inženýra pro vývoj procesů a lze jej také použít jako inteligentní senzor integrovaný a ovládaný dalším vybavením procesních nástrojů.
Edwards iTrap přesvědčí:
