Sekundární vývěvy vyžadují primární vývěvu, aby provedla jejich počáteční „odčerpání“ před provozem anebo aby podporovala jejich nepřetržitý provoz. Existuje několik faktorů, které je třeba vzít v úvahu pro správnou kombinaci nebo „uspořádání“ primárních a sekundárních vývěv, aby byl zajištěn bezpečný a optimalizovaný výkon.
Důsledky nesprávného výběru mohou být vážné, od „zastavení“ difuzní vývěvy (a velké kontaminace olejem) po přehřívání turbomolekulární vývěvy.
Následující část popisuje tyto požadavky ilustrované pomocí běžných příkladů.
Primární vývěva (PP) je vývěva, která odčerpává atmosférický tlak. Může to být rotační lamelová olejová (OSRV), membránová, spirálová, vícestupňová Rootsova, pístová, šroubová a kapalinokružná vývěva.
Sekundární vývěvy (SP) vyžadují před uvedením do provozu počáteční odčerpání primárními a někdy i jinými sekundárními vývěvami na požadovaný tlak. Mohou to být například olejové difúzní vývěvy (ODP), turbomolekulární vývěvy (TMP), parní pomocné vývěvy (VB), mechanické pomocné vývěvy (MB), iontové getrové vývěvy (IGP), titanové sublimační vývěvy (TSP), neodpařované getrové vývěvy (NEG), kryogenní vývěvy, molekulární a regenerační vývěvy.
V některých případech jsou pro nepřetržitý provoz vyžadovány předčerpávací vývěvy; to je případ vývěv ODP, TMP a VB.
Aby bylo možné spárovat vývěvy PP a SP, je třeba zvážit několik věcí:
To by vedlo k odpovídajícímu nárůstu na ~1,5 mbar ve vývěvě PP, jak je uvedeno níže:
Zanechte své kontaktní údaje a stáhněte si celou aplikační poznámku.