Your browser is not supported

Používáte prohlížeč, který již není podporován. Chcete-li nadále navštěvovat naše webové stránky, vyberte si jeden z následujících podporovaných prohlížečů.

Search Edwards Vacuum

Turbomolekulární vývěvy s magnetickou levitací pro nanášení tenkých vrstev, výzkum a průmysl

Vývěvy nEXT M jsou jedny z nejlehčích a nejkompaktnějších turbomolekulárních vývěv Maglev na trhu ve třídě čerpání 3000 l/s, což z nich činí vynikající volbu pro aplikace nanášení tenkých vrstev, stejně jako pro výzkum a průmyslové procesy.

Vývěvy nEXT M Maglev jsou nejen spolehlivé, ale také bezúdržbové po dobu až 10000 cyklů a poskytují čisté a stabilní prostředí, které je kriticky důležité pro přesné operace. 

Turbomolekulární vývěvy nEXT M Maglev

Turbomolekulární vývěvy s magnetickou levitací, známé také jako vývěvy Mag nebo Maglev, jsou založeny na vysoce úspěšné mechanické turbomolekulární vakuové technologii.

Hlavním rozdílem mezi mechanickými a magneticky levitovanými turbomolekulárními vývěvami spočívá v tom, že lopatky „rotoru“ a „statoru“ jsou udržovány na místě pomocí přesně vyrobených magnetů namísto olejem mazaných ložiskových systémů. 

To znamená, že vytvářejí minimální úrovně tření a vibrací a přinášejí čistší vakuový výkon bez kontaminací, díky čemuž jsou ideální pro procesy, jako je nanášení tenkých vrstev. 

Díky elektromagnetickým ložiskům jsou vhodné i pro náročná průmyslová prostředí, protože jsou schopny odolávat mechanickým nárazům a také působení prachu a vlhkosti.

Řada nEXT M však vyniká především všestranností.

Výhody turbomolekulárních vývěv nEXT M:

  • Kompaktní a lehké: Řada nEXT M patří mezi nejmenší a nejlehčí turbomolekulárních vývěvy maglev na trhu – je tedy ideální volbou pro prostorově omezené instalace.
  • Možnost montáže v libovolné orientaci: Pro naprostou flexibilitu je můžete nasadit na komoře v mnoha úhlech.
  • Mimořádně čistý provoz: Jelikož jsou vývěvy nEXT M zcela bezmazné a neobsahují znečišťující látky, a rovněž pracují při minimálních úrovních vibrací, hodí se ideálně pro aplikace, které se zabývají citlivými procesy, kde je nanejvýš nutné dosáhnout úrovní čistého vakua.
  • Spolehlivý výkon: Jejich 5osý systém aktivních magnetických ložisek a pohonný systém výrazně snižují úrovně tření, což vede ke zvýšení spolehlivosti a bezporuchovému výkonu.
  • Rozsah rychlostí čerpání: Optimalizováno pro širokou škálu plynů. Vývěvy nEXT M poskytují rychlost čerpání až 3 200 l/s.
  • Minimální údržba: Díky omezenému opotřebení jsou všechny modely bezúdržbové po dobu až 80000 hodin.
Turbomolekulární vývěvy nEXT2807M a nEXT3207M

Aplikace turbomolekulárních vývěv nEXT M:

Vývěvy nEXT M jsou ideální jak pro citlivé procesy, tak i v náročných průmyslových prostředích:

Nanášení tenkých vrstev

pokrývá tisíce produktů od brýlových čoček, chirurgických nástrojů a solárních panelů až po součásti pro letecký průmysl a teleskopické objektivy používané v astronomii

Vědecký výzkum

od simulovaného kosmického prostředí až po urychlovače částic a výzkum fúze

průmyslový

Aplikace pro svařování v peci a přesné strojní obráběbí dílů

Časté dotazy týkající se turbomolekulárních vývěv nEXT M:

Jaké jsou provozní výhody při používání vývěv řady nEXT M?

Výkon bez přítomnosti uhlovodíků, odolnost, spolehlivost a nízké úrovně vibrací.

Jaký je typický cyklus údržby?

Až 80000 hodin nebo 10000 cyklů spuštění/zastavení bezúdržbového výkonu.

Proč je tato vývěva ideální pro nanášení tenkých vrstev?

Aplikace nanášení tenkých vrstev vyžadují stabilní prostředí s minimálními úrovněmi vibrací. 

Jaká je metoda chlazení?

Účinné chlazení vývěvy je zajištěno chlazením vodou přes vstupní/výstupní porty na vývěvě.

Jaký rozsah rychlostí čerpání je v této řadě k dispozici?

Vývěva nEXT 2807M má rychlost čerpání až 2 500 l/s a vývěva nEXT 3207M má rychlost čerpání až 3 200 l/s.

Turbomolekulární vývěvy nEXT M Maglev – Digitální brožura
English
nEXT M turbomolecular pumps - Datasheet

PDF

4.1 MB

PDF

4.1 MB

Zaměstnanci společnosti Edwards stojící na chodbě s úsměvem
SERVISNÍ ŘEŠENÍ

Přečtěte si více o našich nabídkách v části Servisní řešení