Vacuum Equipment for Research and Development - Brochure
殘留氣體分析儀
高階性能與可及性之間的完美平衡
RGA 殘存氣體分析儀
我們的全新 RGA 包含兩種機型：兩者都可簡單有效操作，確保其性能與效率上的優異
所有 RGA 均配備專屬、使用簡易的軟體，可讓您從筆記型電腦即時追蹤流程，並對多達 16 個不同的單元進行詳細分析。
對於需要快照視圖的用戶，這些裝置具有獨特的機載顯示螢幕，可以在不透過筆記型電腦進行連接的情況下，顯示主要的氣體類型以及系統的整體壓力。
PRA 主要氣體分析儀
為您提供高階性能與可及性之間的完美平衡。
- 有四種機型可供選擇，無論您需要的是基本機型或是靈敏度/範圍較高的機型，皆可符合您的需求。
- PRA 是分析您製程的完美起點。
WRA 各式殘留氣體分析儀
頂級機型，擁有領先市場的規格。
- 提供兩種機型：1-200 或 1-300 amu，讓您可測量來自製程的各種氣體/副產物。
- 相較於 PRA，它具有更高的靈敏度，因此可以提高測量準確度。
獨享優勢
應用與市場
RGA 可分析氣體及其化合物，為以下製程所需：
- 滲漏檢測與識別
- 尋找並識別污染物
- 驗證氣體純度
- 產品/製程品質保證
- 製程與設備診斷與控制
- 優化製程效能與產出
廣泛範圍應用的完美解決方案：
- 半導體製程
- 薄膜與顯示器
- 真空熱處理
- 真空冷凍乾燥
- 研究與開發
- 高能物理
