FÖRETAGSNYHETER
Edwards nya vätgasåtervinningssystem minskar kostnaderna, riskerna och miljöpåverkan från EUV-litografi
GLOBAL | 1 december 2022 | 15:00
Edwards nya vätgasåtervinningssystem minskar kostnaderna, riskerna och miljöpåverkan från EUV-litografi
Edwards, den ledande leverantören av vakuum- och reduktionsprodukter, tjänster och lösningar för den globala halvledarindustrin, tillkännagav idag lanseringen av sitt nya vätgasåtervinningssystem (HRS) för tillämpningar som EUV-litografi som kräver ett stort kontinuerligt vätgasflöde.
HRS kan integreras med Edwards vakuumpumpar och reduktionssystem för att återvinna och återanvända det mesta (minst 70 %) av vätet. Systemet minskar nettoförbrukningen och kostnaderna för vätgas, minskar de finansiella och processrelaterade riskerna vid avbrott i försörjningen och säkerhetsriskerna vid transport och distribution av vätgas samt minskar den totala energiförbrukningen och koldioxidavtrycket för EUV-litografi.
”EUV-litografi är avgörande i alla avancerade nodprocesser”, säger Chris Bailey, Vice President, Emerging Technologies på Edwards. "Och den förbrukar mycket vätgas. Dessutom ökar vätgasförbrukningen för befintliga verktyg i takt med att deras prestanda uppgraderas och fler verktyg kommer online varje dag. Återvinning av vätgas gör det möjligt för tillverkare att dramatiskt minska sina leveranskrav, vilket minskar både driftskostnaderna och sårbarheten för störningar. Lika viktigt är att det minskar EUV-litografiprocessens koldioxidavtryck och energiförbrukning."
EUV-system använder höga flöden av väte vid låga tryck för att förhindra att partikelföroreningar deponeras på de kritiska ytorna på speglar som används för att forma och fokusera EUV-belysningen. HRS integreras med vakuum- och reduktionssystem som extraherar väte från litografisystemet. Den leder gas från EUV-källmodulen till vätgasåtervinningsstacken och leder gas från skannermodulen (ett mycket mindre flöde som sannolikt innehåller föroreningar som avgasas från fotoresistensen) till reningssystemet. I återvinningsskorstenen renas den extraherade gasen med hjälp av en process som kombinerar elektrokemisk pumpning och membranfiltrering för att återvinna högren vätgas. HRS bekräftar gasens renhet innan den returneras till EUV-systemet och inkluderar felsäker omdirigering av gasflöden för att tillgodose ändringar i HRS- eller reduktionssystemstatus.
Bailey fortsatte: "Detta system är resultatet av ett tioårigt utvecklingsprogram som innefattade ett nära samarbete med våra partners på IMEC. Det är själva definitionen av vårt engagemang för ”hållbarhet genom samarbete”. Tack till våra partners på IMEC för deras fantastiska bidrag."
Vincent Nollet, VP för Fab Engineering på IMEC, säger: "HRS installerades i vår 300 mm pilotlinjeprocess och validerades inom ramen för vårt program för hållbara halvledartekniker och -system. Dess förmåga att återvinna vätgas visades, liksom dess förmåga att minska EUV-processens nettoenergiförbrukning och scope 3-utsläpp."
Även om vätgas är det mest överflödiga grundämnet i universum, produceras den mest kommersiellt levererade vätgasen genom ångreformering av naturgas, en process som förbrukar stora mängder energi och släpper ut koldioxid – både direkt, från reformeringen och efterföljande vatten-gasväxlingsreaktioner, och indirekt, från den kraft som krävs för att generera högtemperatur-/högtrycksånga. Genom att minska nettoförbrukningen av vätgas minskar EUV-processens koldioxidavtryck. Att minska mängden vätgas som behöver renas bidrar ytterligare till denna fördel genom att minska energiförbrukningen och koldioxidutsläppen från reduktionsprocessen.