Компрессоры

Встроенный частотный преобразователь обеспечивает максимальную производительность всех криогенных вакуумных насосов Edwards в сетях с частотой 50 и 60 Гц.

• Этот компрессор специально разработан для обеспечения длительного срока службы, высокой надежности и простоты использования. Он обеспечивает выдающиеся рабочие характеристики при использовании со всеми криогенными насосами Cryo-Torr и On-Board, водяными насосами On-Board и вакуумными насосами TurboPlus On-Board. Модель 9600 поддерживает конфигурации с одним и группой насосов и совместим с установленными насосами CTI-Cryogenics по всему миру.

• Благодаря увеличенной мощности подачи гелия, компрессор 9700A идеально подходит для работы с несколькими криогенными насосами. Во многих областях применения нескольких криогенных насосов и водяных насосов один компрессор 9700A обеспечивает единое решение. Компрессор 9700A, который снижает потребление энергии, подачу воды и занимаемую площадь по сравнению с несколькими компрессорами, совместим с криогенными насосами Cryo-Torr и On-Board.

• Компрессор IS-1000 – это интеллектуальная высокоэффективная компрессорная технология для криогенных насосов On-Board IS. Компрессор IS-1000 поддерживает работу до шести криогенных насосов On-Board IS-8F на той же площади, что и компрессор модели 9600.
  Компрессор IS-2000V обеспечивает минимальное энергопотребление на всех этапах работы за счет сочетания высокого давления, роторной технологии и адаптируемой подачи гелия в соответствии с целями SEMI S-23. Модель IS-2000V заменяет два компрессора On-Board IS-1000. Этот высокопроизводительный гелиевый компрессор предназначен для работы с криогенным насосом On-Board IS. Встроенный преобразователь частоты криогенного насоса обеспечивает максимальную производительность при частоте 50 и 60 Гц.