A bomba criogênica CTI-Cryogenics On-Board® IS 320F XVS mantém a tradição da Edwards de fornecer as bombas criogênicas de implante mais confiáveis e de melhor desempenho do mercado.
A bomba criogênica On-Board® IS 320F XVS foi projetada para oferecer o mais alto desempenho de bombeamento de hidrogênio para um melhor rendimento e produtividade do processo, oferecendo a resposta perfeita para os desafios atuais das aplicações de implante de íons.O controle inteligente do sistema integrado à bomba criogênica garante melhor qualidade do processo, consistência do vácuo e tempo de atividade, ao mesmo tempo em que fornece informações do sistema em tempo real para o controle ideal das temperaturas da matriz. A qualidade do vácuo é aprimorada pela adaptação automática às mudanças nas condições de carregamento térmico/gás.
