Liner Pro 재사용 가능한 버너 라이너로 예상치 못한 가동 중단 시간 감소

교체에서 재사용까지: Liner Pro가 반도체 제조에서 저감 가동 중단 시간 위험 및 비용을 줄이는 방법

빠르게 변화하는 반도체 제조 환경에서는 안전하고 효율적이며 환경적으로 책임 있는 운영을 유지하는 것이 필수적입니다. 제거 시스템은 이러한 목표를 지원하는 데 필수적입니다. 내부 연소 챔버를 사용하여 PECVD 및 박막 증착과 같은 공정 중에 생성되는 유해 가스를 중화합니다. 제조업체가 더 엄격한 예산 내에서 더 높은 처리량을 추구함에 따라 기존의 저감 구성품, 특히 버너 라이너는 비용이 많이 들고 지속 불가능한 병목 현상이 되고 있습니다. 이것이 바로 Edwards가 라이너 성능의 단계적 변화인 Liner Pro를 개발한 이유입니다.

제거 시스템이 중요한 이유

효과적인 저감이 없으면 독성 및 환경에 유해한 폐가스는 직원의 안전과 환경 규정 준수에 심각한 위험을 초래합니다. 그러나 이러한 시스템의 신뢰성과 효율성은 구성품, 특히 버너 라이너에 크게 좌우됩니다. 이 제품들은 극한의 조건을 견디며 내부는 최대 1,000oC, 외부는 최대 50oC의 온도를 견딜 수 있습니다. 가혹하고 까다로운 공정에서는 파우더 축적으로 인한 취약성과 막힘으로 인해 자주 교체해야 합니다. 이로 인해 유지보수 비용, 운영 중단 시간 증가, 폐기물 및 지속 가능성에 대한 우려가 커지고 있습니다.

버너 라이너의 과제

많은 제조업체에서 버너 라이너는 제거 시스템에서 가장 비싼 예비 부품 중 하나입니다. 높은 소비율은 총 소유 비용(TCoO)에 상당한 영향을 미치며, 특히 라이너가 모든 서비스 간격 중, 때로는 필요하기도 전에 교체될 때 예상치 못한 가동 중단 시간의 위험을 피하기 위해서입니다.

과제는 다음과 같습니다.

재작업 불가능: 라이너가 사용되거나 마모되면 재생할 수 없습니다. 폐기하고 교체해야 합니다.
복잡한 재고 관리: 종종 반응적으로 처리되어 비효율성과 관리 비용 증가로 이어집니다.
공급망 위험: 임시 계획은 지연 및 부족으로 이어질 수 있습니다.
환경에 미치는 영향: 사용한 라이너의 폐기는 지속 가능성 목표와 충돌하는 재료 폐기물에 기여합니다.

환경 규정이 엄격해지고 제조업체가 보다 책임감 있는 관행을 추구함에 따라 재사용 가능하고 비용 효율적인 솔루션의 필요성이 점점 더 긴급해지고 있습니다.

가동 시간, 안전성 및 지속 가능성이 가장 중요한 산업에서 Liner Pro와 같은 혁신적인 솔루션으로 업그레이드하는 것은 기술적 개선 이상의 의미를 가지며 전략적 이점입니다. 총 소유 비용을 절감하고, 버너 개조 계획을 간소화하거나, 순정 예비 부품에 대한 액세스를 보장하려는 경우, Liner Pro는 현대적인 제조 공장에 측정 가능한 가치를 제공합니다.