Proteus

온실가스 저감 분야의 새 기준

Edwards Proteus

Proteus는 반도체 제조 시 발생하는 탄소 발자국을 감축하는 데 전력 소비량이 낮고 사용자 친화적이며 비용 효과적인 솔루션입니다.

  • 낮은 전력 소비량, 고효율 플라스마 기술
  • 플라스마 파워 모듈레이션
  • 낮은 NOx 배출
  • 긴 MTBS
  • Proteus Dual로 가동시간 보호
  1. 독보적이고 전력이 적게 드는 플라스마 기술로 CF4와 같은 PFC 가스 및 SF6, NF3, N2O와 같은 기타 지구 온난화 가스의 저감효율(DRE)을 높일 수 있습니다. 이렇게 Proteus는 반도체 제조 공정에서 지구 온난화 가스 제거에 가장 비용 효과적인 솔루션이 되었습니다.
  2. Proteus Plasma의 작동 전력은 유입 가스 부하의 기능에 따라 완전히 조절이 가능하여 사용자가 전력 소비를 최소화하면서도 최적의 처리 효율을 유지할 수 있도록 해줍니다. 또한 공정 도구 및 자동 플라스마 파워 모듈레이션과 인터페이싱하여 가장 친환경적인 성능을 유지하면서도 가동비용을 줄일 수 있는 기회가 더 있습니다.
  3. PFC 가스 저감 시에는 NOx 가스 형성을 돕는 높은 온도가 필요합니다. Proteus Plasma 기술은 '열 NOx' 방출을 최소화하기 위해 개발되었으며 이제 '저 NOx' PFC 저감 시스템을 선도하는 기술로 자리잡았습니다.
  4. PFC 분자는 저감 처리 시 독성 및 부식성 용수 용해성 화합물을 통해 산성이 커지는 경향이 있습니다. Proteus Plasma 토치 및 습식 스크러빙 단계는 구성요소의 부식을 최소화하기 위해 특별히 설계되었습니다. Proteus는 뛰어난 파우더 처리 용량이 결합되어 팹에서 안전한 작업 환경을 유지하면서도 긴 MTBS를 얻을 수 있습니다.
  5. Proteus Dual은 완전히 통합된 '보조' 솔루션을 제공하여 복잡한 파이핑이나 인터페이스 없이도 저감 기능을 이용할 수 있도록 도와줍니다. Proteus Dual은 비용 효과적이며 설치하기 쉬운 솔루션입니다. 공정 가동시간을 유지하고 발자국과 설치 비용을 줄이는 동시에 서브팹의 안전은 더욱 높여줍니다.

    Proteus로 친환경 목표를 어떻게 달성할 수 있을지 Edwards 팀과 상담하십시오.