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On-board IS 크라이오 펌프 상단 배너

독보적인 진공 성능 및 에너지 효율성

특허 받은 분산 제어 시스템은 크라이오 펌프 시스템의 개별 요소를 모니터링하고 지속적으로 조정하여 시스템 전체의 진공 성능을 최적으로 유지하여 공정의 일관성을 보장합니다. On-Board IS 크라이오 펌프는 최상의 가동 시간, 최고의 생산성 및 현존하는 크라이오 펌프 시스템 중 가장 낮은 총 소유 비용을 자랑하며, Edwards의 뛰어난 글로벌 서비스 및 네트워크 지원이 보장됩니다.

 

주요 기능

  • 특허받은 분산 제어 시스템은 극저온 펌프 시스템의 개별 요소 모니터링 및 지속적인 조정
  • 전체 시스템의 진공 성능을 최적으로 유지하여 탁월한 공정 일관성 전달
  • 단일 및 다수의 펌프 구성에서 가장 빠른 재생
  • 진공 성능에 영향을 미치지 않는 소량의 에너지 및 냉각수 소비
  • 쉬운 시스템 통합
  • 빠른 생산 설치
  • 예방 및 예상 유지보수 모두에 강화된 원격 모니터링
 

  • IS 320FX 크라이오 펌프
  • IS XP
IS 320FX 크라이오 펌프

오늘날의 이온 주입 공정의 문제를 해결하기 위해 특별히 개발된 On-Board® IS 320FX 크라이오 펌프는 향상된 수소 펌핑 속도와 용량을 제공하는 동시에 고객이 기대하는 품질, 성능 및 신뢰성을 유지합니다. 

  • 이온 주입 어플리케이션을 위해 특별히 설계됨
  • 공구 처리량에 최적화
  • 똑똑한 "자가 조정" 기술
  • 낮은 소유 비용
  • 가동 시간 증가

 

IS XP

On-Board® IS XP 크라이오 펌프는 PVD 응용 분야의 용량을 늘려 공정 투명도를 유지하면서 생산성을 극대화합니다. 이와 동시에 On-Board® IS에서 기대하는 검증된 에너지 효율성, 일관된 성능 및 낮은 소유 비용을 활용합니다. 

  • 향후 공정 개선을 위한 용량 오버헤드 제공
  • 낮은 소유 비용
  • 길어진 가동 시간
  • 일관성 있는 진공 성능을 위한 똑똑한 "자가 조정" 기술

 

오늘날의 이온 주입 공정의 문제를 해결하기 위해 특별히 개발된 On-Board® IS 320FX 크라이오 펌프는 향상된 수소 펌핑 속도와 용량을 제공하는 동시에 고객이 기대하는 품질, 성능 및 신뢰성을 유지합니다. 

  • 이온 주입 어플리케이션을 위해 특별히 설계됨
  • 공구 처리량에 최적화
  • 똑똑한 "자가 조정" 기술
  • 낮은 소유 비용
  • 가동 시간 증가

 

On-Board® IS XP 크라이오 펌프는 PVD 응용 분야의 용량을 늘려 공정 투명도를 유지하면서 생산성을 극대화합니다. 이와 동시에 On-Board® IS에서 기대하는 검증된 에너지 효율성, 일관된 성능 및 낮은 소유 비용을 활용합니다. 

  • 향후 공정 개선을 위한 용량 오버헤드 제공
  • 낮은 소유 비용
  • 길어진 가동 시간
  • 일관성 있는 진공 성능을 위한 똑똑한 "자가 조정" 기술

 

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