低振動およびメンテナンスフリー
メンテナンスフリーの安定した信頼できる性能をお求めであれば、当社のSTP磁気浮上ターボ分子ポンプシリーズが基準を定めます。ロータが磁気ベアリングにより完全に浮上しているため、長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気、ミニマムメンテナンスおよび低振動が求められる用途に最適です。
アドバンストシリーズは、半導体エッチングおよびCVDプロセスに最適な高レベルの排気量を提供します：
このオールインワンターボポンプソリューションにより、従来は必要だった接続ケーブルとラックが不要となります：
超高真空シリーズは、比類のない信頼性、性能、清潔さ、クラス最高の低振動レベルを実現します。
超高真空低振動バージョンには、超高真空シリーズの全機能に加えて、超低振動性能を実現するための内蔵防振装置が組み込まれています。
