STP磁気浮上型ターボ分子ポンプ

低振動およびゼロ保守

チャンバーソリューション上では

保守なしで一貫した信頼性の高いパフォーマンスを求める場合、当社の一連のSTP Maglevターボ分子ポンプがその標準となります。ロータは磁気軸受けで完全に浮上しており、長時間の稼働、ハイドロカーボン不要、最小限の保守、低振動が必要な用途に最適です。

アドバンスドハイスループットシリーズ

アドバンストシリーズは、半導体エッチングおよびCVDプロセスに最適な高レベルの排気量を提供します:

  • コンパクトなフットプリント
  • 300〜4500 l/sの排気速度
  • 最大6 slmの排気量と、H2、N2、およびArパフォーマンスの向上。

このオールインワンターボポンプソリューションにより、従来は必要だった接続ケーブルとラックが不要となります:

  • フットプリントの削減、貴重なファブ不動産、設置時間とコストの節約
  • オンボード電源により、高ガス流量でのエネルギー消費を最大32%削減
  • 300〜4500 l/sの排気速度で動作。

超高真空シリーズは、比類のない信頼性、性能、清潔さ、クラス最高の低振動レベルを提供。

  • 直流電源によりバッテリーが不要
  • ハーフラックコントローラは、自動チューニングと高度な診断機能を完備
  • 300~1000 l/sまでの速度と<10-10 mbarの到達圧力のCFフランジ
  • 過酷なプロセス向けの「C」バージョンもご用意

超高真空低振動バージョンには、超高真空シリーズの全機能に加えて、超低振動性能を実現するための内蔵防振装置が組み込まれています。