低振動およびゼロ保守
保守なしで一貫した信頼性の高いパフォーマンスを求める場合、当社の一連のSTP Maglevターボ分子ポンプがその標準となります。ロータは磁気軸受けで完全に浮上しており、長時間の稼働、ハイドロカーボン不要、最小限の保守、低振動が必要な用途に最適です。
アドバンストシリーズは、半導体エッチングおよびCVDプロセスに最適な高レベルの排気量を提供します：
このオールインワンターボポンプソリューションにより、従来は必要だった接続ケーブルとラックが不要となります：
超高真空シリーズは、比類のない信頼性、性能、清潔さ、クラス最高の低振動レベルを提供。
超高真空低振動バージョンには、超高真空シリーズの全機能に加えて、超低振動性能を実現するための内蔵防振装置が組み込まれています。
