真空システムにおいてゲージは、プロセスを効率的に制御・監視するために不可欠なものであり、お客様のニーズに合わせて適切に選択することが重要です。
Edwardsは、最も幅広い測定機器シリーズを開発しました。どのようなプロセスにも最適なソリューションをご用意しています。
当社は真空ゲージに加えて、各種の専用コントローラをご用意しています。これらを使用することでゲージをより広いシステムに簡単に統合したり、ローカルディスプレイを使用したりすることができます。
- 分析：当社のアクティブゲージは長年の実績により信頼性が実証されており、複雑なシステムを構築する際にも安心してご使用いただけます。また、デジタル式（nAPG/nAIM/nWRG）の設置面積はアナログ式と同じであるため、アップグレードもかつてないほど容易になりました。
- 産業：ハーシュプロセスへの対応は困難ですが、当社の標準ゲージの産業用/耐腐食性専用タイプであるASG2などの産業用製品を使用することで、お使いのシステムの測定レベルを維持することができます。
- 半導体：Edwardsは、多くの大手半導体メーカーのお客様から信頼されるパートナーとして、長年にわたり活躍しています。当社のAPG200シリーズは、フォアライン/一般的な圧力の監視に最適です。当社の先進的なBarocel 7000キャパシタンスマノメータシリーズが、高レベルの精度と速度が必要なプロセスをサポートします。
- 研究&開発：UHVを深く掘り下げたプロジェクトにおいては、環境を確実に測定できることも重要です。当社のパッシブゲージは、耐放射線性で、市場をリードする2x10-12 mbarまでの測定範囲が可能です。
- サービス:当社のポータブルゲージは、電源装置の近くにいなくてもシステムのスポットチェックを実施できます。これにより、ポンプをより広いネットワークに再接続する前に、サービスが正常に実施されていることを確認できます。また、較正ラボですべてのタイプのゲージを較正でき、プロセスの最適な運用を保証します。
