真空システム用のハードウェアと継手

最高のパフォーマンスを発揮するために

エドワーズならではの品質

エドワーズから真空ポンプコンポーネントをご購入いただくと、世界トップクラスのサプライヤーのみが提供できる品質とサービスを受けることができます。 

当社は、フランジと継手が真空システムの性能にとって重要であることを理解しており、最高の仕様を満たす高品質の製品だけを提供します。

エドワーズの真空コンポーネントとフランジ継手が選ばれる理由

調達の利便性：オンラインまたは現地のサプライセンター経由で完全なシステムソリューションを提供できるシングルソースサプライヤー
高い品質と信頼性：厳格な部材管理により、繊細で要求の厳しい用途でも、信頼できる真空性能を発揮します
包括的な選択肢：アルミニウムとステンレス鋼の一般的なフランジサイズに対応する完全な製品レンジ

真空コンポーネントと継手の概要

NWフランジ（ISO-KF）アッセンブリー

ISO-KFとして知られるNW継手は、低真空から高真空の多くの用途で業界標準となっています。低負荷から高負荷まで、さまざまな用途で、信頼性の高いコスト効率の良い性能を10^-7mbarまで実現するのに最適です。簡単な締付方法により、システムを簡単に組み立て、漏れのない真空シールをすばやく実現できます。

ISO 2861とDIN 28403規格に準拠して製造
公称直径10～50 mm
エラストマーまたは成形アルミシールとの併用
用途、アクセス、利便性およびコストに応じてクランプタイプを選択可能
高真空用途で使用する場合：圧力>10^-8 mbar

ISOフランジアッセンブリー

ISO継手は、半導体処理で高い耐食性を発揮し、低真空から高真空の幅広い用途で優れた再現性を発揮します。フランジは、フッ素エラストマーまたはニトリルセンタリング・リングおよびOリング付きのクロークランプまたはクローボルトのいずれかを使用して結合されます。

ISO 1609とDIN 28404規格に準拠して製造
公称直径：40～630 mm
ISO-Fフランジには固定穴パターンがあります
通常、ISO-Kフランジはクローで接続され、回転式カラーまたはハーフクローを使用して、ISO-Fに変換/接続できます
高真空用途で使用する場合：圧力>10^-8 mbar

ダブルクロークランプスロットをフランジ周囲の円形溝にはめ込んで固定するため、シンプルで確実なフランジ接続が可能です。より一般的なのは、回転式または固定式のカラーフランジ付きのさまざまなボルト穴とナット/ボルトを使用する方法です。

UHV ConFlat®フランジアッセンブリー

CF継手には、ユニークなシールシステムにより、漏れのない継手を実現します。銅シールは、2つのCFフランジの間で軸方向および半径方向に圧迫され、ナイフエッジによって銅がコールドフローされます。このフローは表面の欠陥を埋める垂直フランジウォールによって厳しく制限され、高圧を発生させ、非常にタイトな金属間シールを実現します。