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Pompa turbo

La sostenibilità è un tema importante per noi e stiamo lavorando per garantire che le cose che facciamo e il modo in cui le facciamo diventino più sostenibili. Abbiamo apportato numerose modifiche importanti alla progettazione dei prodotti in base a considerazioni ambientali. L'uso efficiente delle risorse è fondamentale nella progettazione e nello sviluppo dei nostri prodotti e riduce i costi di gestione per i clienti, con particolare attenzione alla riduzione dei consumi energetici e idrici.

Riduzione delle emissioni di carbonio dei prodotti di ultima generazione

Pompe primarie

Il consumo energetico delle pompe utilizzate nell'industria dei semiconduttori è uno dei fattori che più grava sul consumo di energia elettrica e può arrivare a rappresentare oltre un terzo del fabbisogno di una fabbrica (ricerca SEMATECH Energy). La base installata globale di pompe per vuoto per l'industria dei semiconduttori consuma l'energia equivalente della città di Sheffield nel Regno Unito o della città di Plano in Texas, USA.

Progettiamo soluzioni per il risparmio energetico e siamo riusciti a ridurre i costi delle bollette senza compromettere l'affidabilità dei processi. Utilizzando un processo di progettazione della piattaforma, ogni generazione successiva delle nostre pompe primarie consuma meno energia. Ad esempio, le pompe a secco di ultima generazione consumano circa il 30% in meno di energia rispetto alla generazione precedente. Ora, con l'introduzione di Active Utility Control (AUC), possiamo ridurre ulteriormente il consumo di energia e delle altre utenze quando le pompe sono ferme utilizzando i segnali provenienti dallo strumento.

Vogliamo che i vantaggi della nostra tecnologia della piattaforma all'avanguardia vengano utilizzati in tutta la nostra gamma di pompe. Questi vantaggi sono messi a disposizione dei clienti che hanno pompe di vecchia generazione con programmi di aggiornamento dell'efficienza energetica di Edwards.

Inoltre, forniamo ai clienti consigli su come ridurre l'energia utilizzata dalle nostre apparecchiature.

Pompe secondarie

La riduzione del consumo energetico globale è fondamentale nella lotta al riscaldamento globale. Oltre a ridurre al minimo l'energia utilizzata nei nostri impianti di produzione e uffici, le nostre pompe turbomolecolari di ultima generazione consentono di raggiungere gli obiettivi di riduzione dei consumi energetici. Edwards offre programmi di aggiornamento che permettono ai clienti di passare alla tecnologia delle pompe molecolari turbo ad alta efficienza energetica.

Ad esempio, i vantaggi del passaggio da pompe a diffusione di olio a pompe molecolari turbo STP:

  • Costi inferiori per i consumi di energia e acqua
  • Nessuna manutenzione annuale o cambio dell'olio
  • Prestazioni di pompaggio migliorate
  • Rumorosità ambientale molto bassa e vibrazioni ridotte
  • Requisiti di spazio ridotti

Abbattimento

I processi di produzione dell'industria dei semiconduttori utilizzano gas, come fluorocarburi e esafluoruro di zolfo, che rappresentano un elevato rischio ambientale a causa della loro persistenza e dell'elevato potenziale di riscaldamento globale (GWP). Queste sostanze possono avere un GWP 1000 volte più alto rispetto all'anidride carbonica. Ad esempio, se l'anidride carbonica (CO2) ha un potenziale di riscaldamento globale (GWP) di 1 su 100 anni, nello stesso periodo di tempo l'esafluoruro di zolfo (SF6) ha un GWP di 23,500, il trifluoruro di azoto (NF3) ha un GWP di 16,100 e il tetrafluorometano (CF4) un GWP di 6,630 (fonte: IPCC Fifth Assessment Report, 2014).

Aiutiamo i nostri clienti a raggiungere livelli elevati di efficienza nella rimozione del potere nocivo di queste sostanze dalla metà degli anni '90, utilizzando la nostra tecnologia di riduzione della combustione. Più di recente, grazie alla tecnologia al plasma, i nostri clienti sono riusciti a ottenere riduzioni di CO2 > 90% in tutte le fabbriche, in linea con gli obiettivi del World Semiconductor Council. Per la produzione di pannelli piatti e di dispositivi ambientali emergenti come pannelli solari e illuminazione a LED, abbiamo sviluppato i sistemi di abbattimento Spectra Z e Spectra G per far fronte a flussi di gas più elevati.

I prodotti di abbattimento Atlas utilizzano fino al 50% di combustibile in meno rispetto alle gamme precedenti. Edwards offre inoltre la tecnologia Atlas come aggiornamento a basso consumo energetico rispetto alle precedenti gamme di prodotti di abbattimento. Combinando pompe e sistemi di abbattimento possiamo ridurre i consumi energetici adottando l'innovativa tecnologia "modalità di inattività".