Váš prohlížeč není podporován

Používáte prohlížeč, který již není podporován. Chcete-li nadále navštěvovat naše webové stránky, vyberte si jeden z následujících podporovaných prohlížečů.

Turbomolekulární vývěva Edwards STP Maglev

Turbomolekulární vývěvy STP Maglev

Nízké vibrace a nulová údržba

O komorových systémech

Potřebujete-li konzistentní a spolehlivý výkon s nulovou údržbou, náš sortiment turbomolekulárních vývěv STP Maglev určuje standard. Rotor je zcela zavěšen v magnetických ložiscích – ideální pro aplikace vyžadující náročné čerpání bez obsahu uhlovodíků, minimální údržbu a nízké vibrace.

Řada Advanced s vysokým průtokem

Řada Advanced nabízí vysoký průtok, ideální pro leptání polovodičů a procesy CVD:

  • Kompaktní rozměry
  • Průtok 300 l/s až 4 500 l/s
  • Průtok až 6 slm a vyšší výkon u H2, N2 a Ar

Tato turbomolekulární vývěva „vše v jednom“ eliminuje běžně vyžadovaný připojovací kabel a stojan:

  • Menší půdorys k úspoře cenného prostoru, kratší doba instalace a nižší náklady.
  • Integrovaný napájecí zdroj snižuje spotřebu energie až o 32 % při vysokých průtocích plynu
  • Provoz při průtoku od 300 l/s do 4 500 l/s.

Řada Ultra High Vacuum nabízí bezkonkurenční spolehlivost, výkon, čistotu a špičkově nízkou úroveň vibrací.

  • Stejnosměrné napájení eliminuje potřebu baterií.
  • Regulátor o velikosti do poloviny stojanu je vybaven funkcí automatického ladění a pokročilými diagnostickými funkcemi.
  • Rychlosti od 300 l/s do 1 000 l/s a příruba CF s mezním tlakem <10–10 mbar
  • K dispozici je také verze „C“ pro náročný provoz.

Verze Ultra High Vacuum Low Vibration obsahuje všechny funkce řady Ultra High Vacuum a navíc i vestavěný tlumič vibrací, který vám přináší vysoký výkon při velmi nízkých vibracích.

Obraťte se na nás a dozvíte se více

Klikněte sem

Loading...