Řešení On Chamber
Nízké vibrace a nulová údržba
Potřebujete-li konzistentní a spolehlivý výkon s nulovou údržbou, náš sortiment turbomolekulárních vývěv STP Maglev určuje standard. Rotor je zcela zavěšen v magnetických ložiscích – ideální pro aplikace vyžadující náročné čerpání bez obsahu uhlovodíků, minimální údržbu a nízké vibrace.
Řada Advanced s vysokým průtokem
Řada Advanced nabízí vysoký průtok, ideální pro procesy etch a CVD:
- Kompaktní rozměry
- Průtok 300 l/s až 4 500 l/s
- Průtok až 6 slm a vyšší výkon u H2, N2 a Ar
- Plně integrovaný regulátor a napájecí zdroj
- Ultra High Vacuum
- Řada Ultra High Vacuum Low Vibration
Plně integrovaný regulátor a napájecí zdroj
Tato turbomolekulární vývěva „vše v jednom“ eliminuje běžně vyžadovaný připojovací kabel a stojan:
- Menší půdorys k úspoře cenného prostoru, kratší doba instalace a nižší náklady.
- Integrovaný napájecí zdroj snižuje spotřebu energie až o 32 % při vysokých průtocích plynu
- Provoz při průtoku od 300 l/s do 4 500 l/s.
Ultra High Vacuum
Řada Ultra High Vacuum nabízí bezkonkurenční spolehlivost, výkon, čistotu a špičkově nízkou úroveň vibrací.
- Stejnosměrné napájení eliminuje potřebu baterií.
- Regulátor o velikosti do poloviny stojanu je vybaven funkcí automatického ladění a pokročilými diagnostickými funkcemi.
- Rychlosti od 300 l/s do 1 000 l/s a příruba CF s mezním tlakem <10–10 mbar
- K dispozici je také verze „C“ pro náročný provoz.
Řada Ultra High Vacuum Low Vibration
Verze Ultra High Vacuum Low Vibration obsahuje všechny funkce řady Ultra High Vacuum a navíc i vestavěný tlumič vibrací, který vám přináší vysoký výkon při velmi nízkých vibracích.
Tato turbomolekulární vývěva „vše v jednom“ eliminuje běžně vyžadovaný připojovací kabel a stojan:
- Menší půdorys k úspoře cenného prostoru, kratší doba instalace a nižší náklady.
- Integrovaný napájecí zdroj snižuje spotřebu energie až o 32 % při vysokých průtocích plynu
- Provoz při průtoku od 300 l/s do 4 500 l/s.
Řada Ultra High Vacuum nabízí bezkonkurenční spolehlivost, výkon, čistotu a špičkově nízkou úroveň vibrací.
- Stejnosměrné napájení eliminuje potřebu baterií.
- Regulátor o velikosti do poloviny stojanu je vybaven funkcí automatického ladění a pokročilými diagnostickými funkcemi.
- Rychlosti od 300 l/s do 1 000 l/s a příruba CF s mezním tlakem <10–10 mbar
- K dispozici je také verze „C“ pro náročný provoz.
Verze Ultra High Vacuum Low Vibration obsahuje všechny funkce řady Ultra High Vacuum a navíc i vestavěný tlumič vibrací, který vám přináší vysoký výkon při velmi nízkých vibracích.
- Edwards STP iXA4506 Large Capacity Turbopump Datasheet 245.8 kB, PDF
