愛德華 CTI-Cryogenics IS 低溫泵浦系統利用創新的高效技術提供無與倫比的真空效能和能源效率。
獲得專利的分散式控制系統可監控並不斷調整低溫泵浦系統的各個元件，以保持最佳的全系統真空效能，從而實現出色的過程一致性。借助 Brooks 高度響應的全球服務和支援網路，On-Board IS 低溫泵浦可為當今任何可用的低溫泵浦系統實現最高正常運行時間、最佳生產力和最低總體擁有成本。
On-Board® IS 320FX 低溫泵浦專為應對當今離子佈植製程的挑戰而開發，可提高氫抽吸速度和容量，同時保持您對 On-Board® IS 320FE 低溫泵浦所期望的所有品質、效能和可靠性優勢。
On-Board® IS XP 低溫泵浦為 PVD 應用提供了更大的容量，從而在保持製程透明性的同時實現了最高的生產率。同時，它充分利用了您對 On-Board® IS 所期望的可靠能源效率、穩定效能和低擁有成本。
