愛德華 CTI-Cryogenics IS 低溫泵系統善用創新的高效率技術，提供無與倫比的真空效能和能源效率。
獲得專利的分散式控制系統可監控並不斷調整低溫泵系統的各個元件，以保持最佳的全系統真空效能，進而實現出色的製程穩定性。藉由愛德華反應快速的全球服務和支援網路，On-Board IS 低溫泵可為現今任一可用的低溫泵系統實現最高運轉時間、最佳生產力以及最低的總持有成本。
On-Board® IS 320FX 低溫泵專為處理現今的離子佈植製程挑戰所開發，提供增強的氫抽吸速度和容量，同時保持您預期的品質、效能及可靠性。
On-Board® IS XP 低溫泵為 PVD 應用提供更大的容量，以達到最大生產力，同時保持製程透明性。不僅如此，本產品更具備您預期 On-Board® IS 會提供的特性：經實證的能源效率、穩定效能以及低廉的持有成本。
