On-board IS 低溫泵浦

創新的低溫技術帶來高效率

無與倫比的真空效能和能源效率

 獲得專利的分散式控制系統可監控並不斷調整低溫泵浦系統的各個元件,以保持最佳的全系統真空效能,從而實現出色的過程一致性。借助 Brooks 高度響應的全球服務和支援網路,On-Board IS 低溫泵浦可為當今任何可用的低溫泵浦系統實現最高正常運行時間、最佳生產力和最低總體擁有成本。

主要特點

 
  • 獲得專利的分散式控制系統可監控並不斷調整低溫泵浦系統的各個元件
  • 保持最佳的全系統真空效能,從而實現出色的過程一致性
  • 在單泵浦和多泵浦組態中實現最快的再生速度
  • 低能耗和冷卻水消耗,同時不影響真空效能
  • 系統整合輕鬆
  • 生產安裝快速
  • 遠端監控功能增強,可進行預防性和預測性維護

On-Board® IS 320FX 低溫泵浦專為應對當今離子佈植製程的挑戰而開發,可提高氫抽吸速度和容量,同時保持您對 On-Board® IS 320FE 低溫泵浦所期望的所有品質、效能和可靠性優勢。 

  • 專為離子佈植應用而設計
  • 針對工具吞吐量而優化
  • 智慧「自調」技術
  • 擁有成本降低
  • 正常運行時間增加

 

On-Board® IS XP 低溫泵浦為 PVD 應用提供了更大的容量,從而在保持製程透明性的同時實現了最高的生產率。同時,它充分利用了您對 On-Board® IS 所期望的可靠能源效率、穩定效能和低擁有成本。 

  • 提供容量開銷以用於將來的製程改進
  • 擁有成本降低
  • 正常運行時間增加
  • 智慧「自調」技術,可實現一致的真空效能