壓縮機

您可利用我們的一系列壓縮機實現最佳效能

愛德華 CTI-Cryogenics 壓縮機系列

整合的低溫泵浦功率變頻器可確保所有愛德華真空泵浦在 50 Hz 和 60 Hz 應用中均具有最佳低溫泵浦效能。

 

8200 壓縮機

  • 該壓縮機旨在為 On-Board 低溫泵浦、On-Board 水泵和 Cryo-Torr 低溫泵浦實現最佳效能,可支援最大尺寸為八英寸的所有泵浦。由於 8200 設計得靈活實用,因此您可以將壓縮機放在最方便系統操作的位置。

9600 壓縮機

  • 該壓縮機經過專門設計,具有長使用壽命、高可靠性和易用性,可為所有 Cryo-Torr 低溫泵浦、On-Board 低溫泵浦、On-Board 水泵和On-Board TurboPlus 真空泵浦實現出色的效能。9600 支援單泵浦組態和分組泵浦組態,並且與全球 CTI-Cryogenics 泵浦裝置相容。

9700A 壓縮機

  • 隨著氦輸出量的增加,9700A 壓縮機是運行多個低溫泵浦的理想選擇。在許多低溫泵浦和水泵應用中,一台 9700A 壓縮機可提供一個壓縮機解決方案。與多種壓縮機應用相比,9700A 壓縮機可降低功耗、水分配和占地面積,與 Cryo-Torr® 和 On-Board® 低溫泵浦相容。IS-1000 壓縮機 - On-Board IS 低溫泵浦的智慧、高效壓縮機技術。

IS-1000 壓縮機

  • IS-1000 壓縮機將在與 9600 壓縮機相同的占地面積內支援多達六個 On-Board IS-8F 低溫泵浦。IS-2000V 壓縮機 - 透過結合更高的壓力、旋轉技術和符合 SEMI S-23 目標的適應性氦輸送,在所有運行階段實現最低功耗。IS-2000V 取代了兩台 On-Board IS-1000 壓縮機。這款高容量氦壓縮機用於支援 On-Board IS 低溫泵浦應用。整合的低溫泵浦功率變頻器可確保所有 Brooks 真空泵浦在 50 Hz 和 60 Hz 應用中均具有最佳低溫泵浦效能。