Низкий уровень вибрации и отсутствие необходимости в техническом обслуживании
Турбомолекулярные насосы Edwards серии STP Maglev устанавливают новый стандарт в отрасли, обеспечивают стабильную и надежную работу и не требуют технического обслуживания. Ротор полностью опирается на магнитные подшипники, что оптимально подходит для областей применения, в которых требуются продолжительная бесперебойная работа, перекачивание среды без присутствия углеводородов, минимальный объем технического обслуживания и низкий уровень вибрации.
Изделия усовершенствованной серии обеспечивают высокую скорость обработки продукта и отлично подходят для технологических процессов травления и осаждения из газовой фазы при производстве полупроводников:
Использование этого многофункционального турбомолекулярного насоса позволяет обойтись без соединительного кабеля и стойки:
Серия изделий для создания сверхвысокого вакуума обеспечивает непревзойденную надежность, производительность, чистоту процесса и самый низкий в своем классе уровень вибрации.
Серия изделий для создания сверхвысокого вакуума при низком уровне вибрации обладает всеми особенностями серии для создания сверхвысокого вакуума, но в этом оборудовании также предусмотрен встроенный виброизолятор, обеспечивающий сверхнизкий уровень вибрации.
