Турбомолекулярные насосы STP Maglev - Edwards Vacuum

Edwards Vacuum homepage

Ваш браузер не поддерживается

Вы используете браузер, который мы больше не поддерживаем. Чтобы продолжить навигацию по нашему веб-сайту, выберите один из следующих поддерживаемых браузеров.

Google Chrome

Mozilla Firefox

Safari

Microsoft Edge

Решения для камер

Низкий уровень вибрации и отсутствие необходимости в техническом обслуживании

Если вам нужна стабильная надежная производительность без необходимости технического обслуживания, линейка турбомолекулярных насосов STP Maglev устанавливает стандарт. Ротор полностью подвешен на магнитных подшипниках, что идеально подходит для областей применения, требующих длительного времени бесперебойной работы, откачки без использования углеводородов, минимального технического обслуживания и низкого уровня вибрации.

Серия Advanced High Throughput

Усовершенствованная серия Advanced High Throughput обеспечивает высокую скорость обработки продукта и отлично подходит для технологических процессов травления и осаждения из газовой фазы при производстве полупроводников:

Компактная конструкция
Скорость обработки продукции от 300 до 4500 л/с
Скорость обработки продукции до 6 ст. л/мин и улучшенная очистка H2, N2 и Ar

Полностью интегрированные контроллер и блок питания

Использование этого многофункционального турбомолекулярного насоса позволяет обойтись без соединительного кабеля и стойки:

Небольшие габариты, экономия места, сокращение времени и затрат на монтаж
Встроенный блок питания снижает потребление энергии почти на 32 % при высоком расходе газа
Работа со скоростью откачки от 300 до 4500 л/с

Ultra High Vacuum

Серия Ultra High Vacuum для создания сверхвысокого вакуума обеспечивает непревзойденную надежность, производительность, чистоту процесса и самый низкий в своем классе уровень вибрации:

Источник питания постоянного тока позволяет отказаться от использования аккумуляторных батарей
Контроллер с форм-фактором «полустойка», функциями автоматической настройки и расширенной диагностики
Скорость откачки от 300 до 1000 л/с и предельное давление фланца CF <10-10 мбар
Доступен вариант исполнения «C» для тяжелых условий эксплуатации

Серия Ultra High Vacuum Low Vibration для создания сверхвысокого вакуума при низком уровне вибрации

Серия Ultra High Vacuum Low Vibration для создания сверхвысокого вакуума при низком уровне вибрации обладает всеми особенностями серии для создания сверхвысокого вакуума, но в этом оборудовании также предусмотрен встроенный виброизолятор, обеспечивающий сверхнизкий уровень вибрации.