Турбомолекулярные насосы STP Maglev - Edwards Vacuum

Edwards Vacuum homepage

Ваш браузер не поддерживается

Вы используете браузер, который мы больше не поддерживаем. Чтобы продолжить навигацию по нашему веб-сайту, выберите один из следующих поддерживаемых браузеров.

Google Chrome

Mozilla Firefox

Safari

Microsoft Edge

Решения для камер

Низкий уровень вибрации и отсутствие необходимости в техническом обслуживании

Турбомолекулярные насосы Edwards серии STP Maglev устанавливают новый стандарт в отрасли, обеспечивают стабильную и надежную работу и не требуют технического обслуживания. Ротор полностью опирается на магнитные подшипники, что оптимально подходит для областей применения, в которых требуются продолжительная бесперебойная работа, перекачивание среды без присутствия углеводородов, минимальный объем технического обслуживания и низкий уровень вибрации.

Усовершенствованная серия высокой производительности

Изделия усовершенствованной серии обеспечивают высокую скорость обработки продукта и отлично подходят для технологических процессов травления и осаждения из газовой фазы при производстве полупроводников:

Небольшие габариты
Скорость обработки продукта от 300 до 4500 л/с
Скорость обработки продукта до 6 ст. л/мин и улучшенная очистка H2, N2 и Ar

Полностью интегрированные контроллер и блок питания

Использование этого многофункционального турбомолекулярного насоса позволяет обойтись без соединительного кабеля и стойки:

Небольшие габариты, экономия места, сокращение времени и затрат на монтаж
Встроенный блок питания снижает потребление энергии почти на 32 % при высоком расходе газа
Скорость обработки продукта от 300 до 4500 л/с.

Сверхвысокий вакуум

Серия изделий для создания сверхвысокого вакуума обеспечивает непревзойденную надежность, производительность, чистоту процесса и самый низкий в своем классе уровень вибрации.

Источник питания постоянного тока — не требуется использование аккумуляторных батарей
Контроллер с форм-фактором «полустойка», функциями автоматической настройки и расширенной диагностики
Производительность от 300 до 1000 л/с и предельное давление < 10(-10) мбар на фланце CF
Также имеется вариант исполнения «C» для тяжелых условий эксплуатации

Серия изделий для создания сверхвысокого вакуума при низком уровне вибрации

Серия изделий для создания сверхвысокого вакуума при низком уровне вибрации обладает всеми особенностями серии для создания сверхвысокого вакуума, но в этом оборудовании также предусмотрен встроенный виброизолятор, обеспечивающий сверхнизкий уровень вибрации.