Your browser is not supported

Вы используете браузер, который мы больше не поддерживаем. Чтобы продолжить навигацию по нашему веб-сайту, выберите один из следующих поддерживаемых браузеров.

Продукция, разработанная на заказ
Узнать больше
Диффузионные насосы
Узнать больше
Насосы с масляным уплотнением
Узнать больше
Механические бустерные насосы
Узнать больше
Промышленные безмасляные насосы
Узнать больше
Малые сухие насосы
Узнать больше
Турбомолекулярные насосы
Узнать больше
Измерение вакуума
Узнать больше
Обнаружение течей
Узнать больше
Анализаторы остаточного газа
Узнать больше
Химические сухие насосы
Узнать больше
Компоненты вакуумных систем
Узнать больше
Вакуумные насосы для создания сверхвысокого вакуума
Узнать больше
Водокольцевые насосы
Узнать больше
iTrap
Узнать больше
Турбомолекулярные насосные станции
Узнать больше
Криогенные чиллеры
Узнать больше
Cryopumps
Узнать больше
Сухие насосы для производства полупроводников
Узнать больше
Решения по охране окружающей среды - Очистка отработавших газов
Узнать больше
Интегрированные решения
Узнать больше
Турбомолекулярный насос Edwards STP Maglev

Турбомолекулярные насосы STP Maglev

Низкий уровень вибрации и отсутствие необходимости в техническом обслуживании

Решения для камер

Если вам нужна стабильная надежная производительность без необходимости технического обслуживания, линейка турбомолекулярных насосов STP Maglev устанавливает стандарт. Ротор полностью подвешен на магнитных подшипниках, что идеально подходит для областей применения, требующих длительного времени бесперебойной работы, откачки без использования углеводородов, минимального технического обслуживания и низкого уровня вибрации.

Серия Advanced High Throughput

Усовершенствованная серия Advanced High Throughput обеспечивает высокую газопропускную способность и отлично подходит для технологических процессов травления и осаждения из газовой фазы при производстве полупроводников:

  • Компактная конструкция
  • Скорость откачки от 300 до 4500 л/с
  • Газопропускная способность до 6 ст. л/мин и улучшенная очистка H2, N2 и Ar

Использование этого многофункционального турбомолекулярного насоса позволяет обойтись без соединительного кабеля и стойки:

  • Небольшие габариты, экономия места, сокращение времени и затрат на монтаж
  • Встроенный блок питания снижает потребление энергии почти на 32 % при высоком расходе газа
  • Работа со скоростью откачки от 300 до 4500 л/с

Серия Ultra High Vacuum для создания сверхвысокого вакуума обеспечивает непревзойденную надежность, производительность, чистоту процесса и самый низкий в своем классе уровень вибрации:

  • Источник питания постоянного тока позволяет отказаться от использования аккумуляторных батарей
  • Контроллер с форм-фактором «полустойка», функциями автоматической настройки и расширенной диагностики
  • Скорость откачки от 300 до 1000 л/с и предельное давление фланца CF <10-10 мбар
  • Доступен вариант исполнения «C» для тяжелых условий эксплуатации

Серия Ultra High Vacuum Low Vibration для создания сверхвысокого вакуума при низком уровне вибрации обладает всеми особенностями серии для создания сверхвысокого вакуума, но в этом оборудовании также предусмотрен встроенный виброизолятор, обеспечивающий сверхнизкий уровень вибрации.

Свяжитесь с нами, чтобы узнать больше

Перейдите по этой ссылке

Loading...