Турбомолекулярные насосы STP Maglev

Низкий уровень вибрации и отсутствие необходимости в техническом обслуживании

Решения для камер

Турбомолекулярные насосы Edwards серии STP Maglev устанавливают новый стандарт в отрасли, обеспечивают стабильную и надежную работу и не требуют технического обслуживания. Ротор полностью опирается на магнитные подшипники, что оптимально подходит для областей применения, в которых требуются продолжительная бесперебойная работа, перекачивание среды без присутствия углеводородов, минимальный объем технического обслуживания и низкий уровень вибрации.

Усовершенствованная серия высокой производительности

Изделия усовершенствованной серии обеспечивают высокую скорость обработки продукта и отлично подходят для технологических процессов травления и осаждения из газовой фазы при производстве полупроводников:

  • Небольшие габариты
  • Скорость обработки продукта от 300 до 4500 л/с
  • Скорость обработки продукта до 6 ст. л/мин и улучшенная очистка H2, N2 и Ar

Использование этого многофункционального турбомолекулярного насоса позволяет обойтись без соединительного кабеля и стойки:

  • Небольшие габариты, экономия места, сокращение времени и затрат на монтаж
  • Встроенный блок питания снижает потребление энергии почти на 32 % при высоком расходе газа
  • Скорость обработки продукта от 300 до 4500 л/с.

Серия изделий для создания сверхвысокого вакуума обеспечивает непревзойденную надежность, производительность, чистоту процесса и самый низкий в своем классе уровень вибрации.

  • Источник питания постоянного тока — не требуется использование аккумуляторных батарей
  • Контроллер с форм-фактором «полустойка», функциями автоматической настройки и расширенной диагностики
  • Производительность от 300 до 1000 л/с и предельное давление < 10(-10) мбар на фланце CF
  • Также имеется вариант исполнения «C» для тяжелых условий эксплуатации

Серия изделий для создания сверхвысокого вакуума при низком уровне вибрации обладает всеми особенностями серии для создания сверхвысокого вакуума, но в этом оборудовании также предусмотрен встроенный виброизолятор, обеспечивающий сверхнизкий уровень вибрации.