생산성은 높이고, 비용과 환경 부담은 줄여보세요
Edwards는 지속적인 개선을 통해 고객의 장비 성능을 높이고, 소유 비용을 절감하며, 지속 가능성 목표를 달성할 수 있도록 다양한 업그레이드 솔루션을 제공합니다.
- 장비 성능 보호
- 총 소유 비용 최소화
- 친환경 업그레이드
장비 성능 보호
장비 성능을 향상시키고 운영 생산성을 극대화하도록 설계된 업그레이드
자기부상(Maglev) 터보 펌프를 위한 온툴 입자 저감 업그레이드
Edwards는 고객의 생산성과 수율 향상을 위해, 반도체 공정의 웨이퍼 오염을 줄일 수 있는 다양한 온툴 솔루션을 제공하며, 여기에는 역유입 방지(Anti-Recoil) 기술, 로터 컵 커버(Rotor Cup Cover), 그리고 고온 펌프 기술 등이 포함됩니다.
역유입 방지(Anti-Recoil) 기술
공정 가동 중 터보 펌프로부터 챔버 방향으로 역유입되는 입자가 발생할 수 있으며, 이는 웨이퍼 오염과 생산성 저하로 이어질 수 있습니다. Edwards의 역유입 방지 기술은 입자가 터보 펌프를 통과해 배기구로 원활하게 배출될 수 있도록 하여 오염을 효과적으로 줄여줍니다.
로터 컵 커버
터보 펌프 입구의 로터 컵의 부식과 입자가 축적되는 것을 방지하기 위해, Edwards는 내식성이 우수한 회전축 포트 커버를 개발하였습니다. 이를 통해 부산물 형성과 주요 스테인리스 스틸 구성품의 부식을 줄일 수 있습니다.
고온 펌프
터보 펌프 내부에서 발생하는 증착물 또한 입자 오염의 주요 원인으로, 입자가 터보 펌프를 역행해 챔버로 유입될 수 있습니다. 고온 펌프는 가스 경로를 매우 높은 온도로 가열하여 증착물 형성을 억제합니다. 고온 펌프의 로터와 스테이터와 같은 주요 부품에는 특수한 고방사율 코팅이 적용되어 있으며, 최적의 성능을 위해 온도 프로파일이 지속적으로 최적화됩니다.
세 가지 입자 저감 기술 모두 Edwards의 서비스 테크놀로지 센터(STC)에서 진행되는 펌프 유지보수 시 적용이 가능하여, 신규 장비뿐 아니라 기존 설치 장비의 생산성 최적화에도 활용할 수 있습니다.
EUV 펌프 업그레이드로 반도체 수율 향상
경쟁이 치열한 반도체 제조 산업에서는 생산성을 극대화하는 동시에 제조 시설의 에너지 비용을 관리하는 것이 중요합니다. 당사의 EUV 건식 펌프 업그레이드는 장비 성능을 크게 향상시켜 최적의 반도체 수율 개선을 보장하도록 설계되었습니다. 첨단 반도체 장비 서비스를 통합함으로써 우리의 업그레이드는 반도체 제조의 수율을 높일 뿐만 아니라 상당한 에너지 절감에도 기여합니다. 반도체 프로세스의 이러한 전체적인 접근 방식을 통해 반도체 공정의 생산성 향상을 통해 제조 시설이 최고의 효율성으로 운영되도록 보장합니다.
EUV 펌프 업그레이드를 통한 반도체 수율 개선
경쟁이 치열한 반도체 제조산업에서는 생산성을 극대화하며 팹의 에너지 비용을 잘 관리하는 것이 매우 중요합니다. Edwards의 EUV 건식 펌프 업그레이드는 장비의 성능을 대폭 향상시켜 반도체 수율 개선에 기여합니다. 첨단 반도체 장비 서비스가 결합되어 수율 개선뿐 아니라 상당한 에너지 절감 효과도 제공합니다. 이처럼 반도체 공정 전반을 아우르는 통합적 접근 방식으로, 팹이 최고 효율로 운영될 수 있도록 지원합니다.
가혹한 제조 공정을 위한 XCEDE 드라이 펌프 보호 기술
XCEDE 건식 펌프 보호 기술은 핵심 펌프 부품의 부식을 방지하고 서비스 주기를 늘려 고객의 가동 시간을 극대화합니다. Edwards iH, iXH, iXM 펌프 제품군에 적용 가능한 이 기술은 표면 처리 기술과 엔지니어링 설계를 통해 펌프 내부의 화학적 및 기계적 마모를 효과적으로 줄이며 동급 대비 뛰어난 보호 성능을 제공합니다.
총 소유 비용 최소화
서비스 주기를 연장하고 장비 운영 효율을 높여 총 소유 비용(TCO)을 절감하는 업그레이드입니다.
가스 저감 시스템을 위한 Porous Head
Edwards는 기존의 세라믹 절연 헤드를 대체하는 현장 서비스 업그레이드인 Porous Head를 개발했습니다. 이 업그레이드는 소결된 다공성 금속 블록을 활용하여 고르게 에어 퍼지를 분산시켜 분말 축적 위험을 감소시킵니다.
가스 저감 공정 중, 흡입구 헤드 아래쪽과 같이 시스템 내 원치 않는 부위에 분말 형태의 부산물이 축적될 수 있습니다. 이러한 분말 축적은 공정 가스의 흐름을 차단해 잦은 유지보수를 유발하는 원인입니다. 가혹한 공정의 경우, 이러한 분말 축적으로 인해 1년 동안 9회 이상의 서비스 중단이 발생할 수도 있으며, 인건비와 예비 부품 사용이 증가하여 총 소유 비용(TCoO) 상승으로 이어집니다.
Porous Head 업그레이드를 적용한 고객은 연간 10회에 달하던 서비스 주기가 평균 2회 수준으로 줄었습니다. 백업 저감 시스템이 없는 고객의 경우 이를 통해 연간 평균 약 64시간의 다운타임을 줄여 약 150만 달러 규모의 추가 생산성을 확보했습니다.
백업 저감 시스템을 사용하는 고객 역시 백업 시스템의 의존도를 줄임으로써 예비 부품 비용과 유지보수 인건비를 절감하고, 에너지 효율을 향상시켜 상당한 비용 절감 효과를 얻고 있습니다.
Liner Pro: 차세대 버너 개조 솔루션
반도체 팹은 예기치 못한 다운타임 위험을 줄이고, 유지보수 비용을 관리하며, 운영 효율을 지속적으로 개선해야 하는 환경에 놓여 있습니다. Liner Pro는 가스 저감 시스템의 반복적인 버너 라이너 유지보수 문제를 해결하기 위해 설계된 견고한 저감 라이너 솔루션입니다. 또한 재사용 가능한 부품으로 지속 가능성 목표 달성에도 기여합니다. 서비스 플랜에 Liner Pro를 통합하면 운영을 간소화하고, 총 소유 비용을 낮추며, 까다로운 공정에서도 안정적인 성능을 유지할 수 있습니다.
Life Services
이미 5년 이상 사용된 장비는 유지보수를 통해 기계적 성능을 유지하더라도, 핵심 전자 부품에서 예상치 못한 고장이 발생할 위험이 있습니다.
Edwards Life Services 솔루션은 장비를 새롭게 재정비하고 수명을 연장하는 최적의 솔루션입니다. Life Services는 주요 시스템 전자 부품을 포함한 연장 보증을 제공하여, 장비가 오랫동안 안정적으로 운영될 수 있도록 지원합니다.
Life Services는 전 세계에 위치한 Edwards의 글로벌 서비스 테크놀로지 센터(STC)를 통해 제공됩니다.
친환경 업그레이드
장비 수명을 연장하고 환경 영향을 줄여 지속 가능성 목표 달성을 지원하는 업그레이드입니다.
제조 공정의 에너지 비용 절감을 위한 에너지 절약 업그레이드
Edwards의 iXH1210 건식 펌프 업그레이드는 간편한 교체 방식으로 진행되어 현장 추가 작업이 필요하지 않으며 업그레이드 과정 중 다운타임 손실도 최소화할 수 있습니다.
업그레이드를 통해 운영 에너지 비용을 약 1/3까지 절감할 수 있으며, 탄소 배출 감소에 기여해 환경 목표 달성을 지원합니다. 에너지 절감 업그레이드라 부르는 이유가 바로 여기에 있습니다.
이 수치에 팹 내 업그레이드 가능한 펌프 수를 곱하면 그 효과가 얼마나 커지는지 상상해 보십시오.
또한 해당 업그레이드는 Edwards Intelligent Service 업그레이드를 통해 진행되므로, 신규 펌프 구매를 위한 별도의 투자 계획 없이도 업그레이드를 진행할 수 있다는 장점이 있습니다.
EUV 에너지 절약 펌프 업그레이드
반도체 제조 분야에서 지속 가능성은 점점 더 중요한 과제로 자리 잡고 있습니다. Edwards의 EUV 건식 펌프 업그레이드는 EUV 공정에서의 에너지 소비와 전력 사용량을 크게 줄여, 지속 가능한 운영을 지원하도록 설계되었습니다. 이러한 펌프 업그레이드를 통해 공정 에너지 성능을 최적화하고, 상당한 에너지 절감과 생산성 향상 효과를 얻을 수 있습니다.
아래의 고객 성공 사례에서 EUV 에너지 절감 효과에 대해 자세히 확인해 보십시오.
열 교환기
가스 저감 시스템이 적절한 유지보수 없이 운영될 경우, 팹 전체 냉각수 오염 위험이 발생할 수 있습니다. 많은 시스템의 열 교환기는 산성 공정 화학물질에 의한 부식에 취약하며, 이로 인해 팹 공정 냉각수 회로로 누출될 위험이 있습니다. 이는 같은 냉각수 회로를 사용하는 다른 공정 장비에도 영향을 줄 수 있으며, 폐기 과정에서도 환경적인 위험을 초래할 수 있습니다.
열교환기 현장 서비스 업그레이드 키트는 기존 브레이징 열교환기를 플레이트 앤 개스킷 방식으로 전환하는 효과적인 솔루션으로, 시스템에 큰 변경 없이 적용 가능합니다. 기존 열교환기 모델 대비 산성 물질에 대한 저항성이 향상되어 사용 수명이 약 5~10배 늘어나며, 팹 냉각수 오염 위험도 크게 줄어듭니다.
