Liner Pro 再利用可能なバーナーライナーで予定外のダウンタイムを削減

交換から再利用まで：Liner Pro が半導体製造における除害ダウンタイムのリスクとコストを削減する方法

半導体製造のペースの速い世界では、安全で効率的かつ環境に配慮した運用を維持することが不可欠です。除害システムは、これらの目標をサポートするために不可欠です。PECVD や薄膜堆積などのプロセスで発生する有害ガスを中和するために、内燃燃室を使用します。工場が厳しい予算内でより高いスループットを追求する中、従来の除害コンポーネント、特にバーナーライナーは、高価で持続不可能なボトルネックとなっています。そのため、エドワーズはライナ性能を一歩変えたライナ Pro を開発しました。

除害システムが重要な理由

効果的な除害がなければ、有毒で環境に有害な廃ガスは、従業員の安全と環境コンプライアンスの両方に深刻なリスクをもたらします。しかし、これらのシステムの信頼性と効率は、特にバーナーライナーなどのコンポーネントに大きく依存します。これらは極端な条件に耐え、内面は 1，000oC、外面は 50oC までの温度に耐えることができます。過酷で過酷なプロセスでは、脆弱性と粉末の堆積による詰まりにより、頻繁に交換する必要があります。これにより、メンテナンスコストが増加し、運転のダウンタイムが増加し、廃棄物と持続可能性に関する懸念が高まっています。

バーナーライナーの課題

多くの工場では、バーナーライナーは除害システムで最も高価なスペアパーツの 1 つです。その高い消費率は総所有コスト (TCoO) に大きく影響します。特に、予定外のダウンタイムのリスクを回避するために、サービス間隔ごとにライナーを交換する場合、時には必要になる前に交換する場合もあります。

課題には以下が含まれます。

再加工不可：ライナーが使用または摩耗した後は、再生することはできません。廃棄して交換する必要があります。
複雑な在庫管理：しばしば反応的に処理され、非効率性と管理コストの増加につながります。
サプライチェーンのリスク：アドホック計画は遅延や不足につながる可能性があります。
環境への影響：使用済みライナーの廃棄は、材料の無駄につながり、持続可能性の目標と矛盾します。

環境規制が厳しくなり、製造業者はより責任ある慣行を求める中、再利用可能で費用対効果の高いソリューションの必要性がますます緊急になっています。

稼働時間、安全性、持続可能性が最優先される業界では、 Liner Pro のような革新的なソリューションにアップグレードすることは、技術的な改善以上のものであり、戦略的な利点です。Liner Pro は、総所有コストの削減、バーナーのレトロフィット計画の簡素化、純正スペアパーツへのアクセスの確保など、現代の工場に測定可能な価値を提供します。