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アクティブゲージおよびコントローラ

Edwardsの実証済み技術:用途のニーズに合わせて最適なゲージを選択できます。

Edwardsの新しいAPG200

Edwards APG200 Left Angle Top Front View

EdwardsのAPG200ピラニゲージ

Edwardsの新しいAPG200シリーズ高性能コンパクトピラニゲージは、コンパクトなサイズ、LEDライトリング、統合セットポイントにより、あらゆる用途に最適な真空ソリューションです。

英国にあるEdwardsの生産施設では、数十年にわたり真空ゲージを設計、製造してきました。この経験により、性能を損なうことなくパッケージサイズを25%小型化したゲージを開発することができました。APG200は各種のアップグレードと機能拡張により、小型化と柔軟性の高い出力という特長を生かせる分析機器分野から、新しいインターフェイスとライトリングでシステムのメンテナンスを改善できる半導体分野、さらにはローカル圧力表示によりメインインターフェイスから離れた場所で実験を監視できる研究開発分野まで、あらゆる真空市場に適しています。

システムを柔軟にカスタマイズ:

すべてのプロセスに固有の要件があることを考慮し、ニーズに合った適切なゲージを選択できるよう、複数のゲージタイプをご用意しています。 

当社の頑丈な新型APG200ピラニゲージには、大気圧~1e-4 mbarまでを測定するタイプと、大気圧~1e-9 mbarまでを測定するワイドレンジゲージ(WRG)冷陰極/ピラニ複合ゲージタイプがあり、標準または耐腐食型をお選びいただけます。

アクティブゲージシリーズ

Edwardsのアクティブゲージシリーズ

コントローラ - システムのローカルディスプレイと制御

  • 標準的なソリューションをご希望のお客様には、ADC製品ラインによるベーシックなシングル/デュアルヘッドゲージディスプレイをご用意しています。 
  • より高度な接続性と制御性をご希望のお客様には、TIC製品ラインをご用意しています。これにより、最大6個のゲージヘッドを制御し、RS232インターフェイス/セットポイント出力により、システム内の他のアクションを起動できます。 
  • 小型ドライポンプシリーズとnEXTターボ分子ポンプシリーズを制御できるタイプもご用意しています。これにより、小規模なシステム構築が可能です。

ユニバーサルコントローラ

各コントローラは異なるアクティブゲージタイプを合わせて制御できます

較正点検

当社のすべてのゲージは、追加の較正証明書と共にお求めいただけます

サービス

各ゲージのサービス手順は簡単で、ほとんどのプロセスでツールが不要です