Your browser is not supported

You are using a browser we do not support any longer. To continue visiting our website, please choose one of the following supported browsers.

アクティブゲージおよびコントローラ

Edwardsの実証済み技術:200 mbar~5e-10 mbarの測定範囲に対応。用途のニーズに合わせて適切なゲージを選択できます。

システムを柔軟にカスタマイズ:

すべてのプロセスに固有の要件があることを考慮し、ニーズに合った適切なゲージを選択できるよう、複数のゲージタイプをご用意しています。 

当社の頑丈なAPG100ピラニゲージには、大気圧~1e-4 mbarまでを測定するタイプと、大気圧~1e-9 mbarまでを測定するワイドレンジゲージ(WRG)冷陰極/ピラニ複合ゲージのタイプがあり、標準または耐腐食性を選択できます。

アクティブゲージシリーズ

Edwardsのアクティブゲージシリーズ

コントローラ - システムのローカルディスプレイと制御

  • 標準的なソリューションをご希望のお客様には、ADC製品ラインによるベーシックなシングル/デュアルヘッドゲージディスプレイをご用意しています。 
  • より高度な接続性と制御性をご希望のお客様には、TIC製品ラインをご用意しています。これにより、最大6個のゲージヘッドを制御し、RS232インターフェイス/セットポイント出力により、システム内の他のアクションを起動できます。 
  • 小型ドライポンプシリーズとnEXTターボ分子ポンプシリーズを制御できるタイプもご用意しています。これにより、小規模なシステム構築が可能です。

ユニバーサルコントローラ

各コントローラは異なるアクティブゲージタイプを合わせて制御できます

較正点検

当社のすべてのゲージは、追加の較正証明書と共にお求めいただけます

サービス

各ゲージのサービス手順は簡単で、ほとんどのプロセスでツールが不要です