製品

当社は持続可能性を重視しており、業務内容、そしてその方法がより持続可能となるよう努力しています。環境に配慮した製品設計のために、主な設計手順の一部を変更しました。製品設計や開発で資源を効率的に使用することは非常に重要であり、電力や水の消費量削減を特に重点的に減らすことでお客様の運用コストを削減します。

最新製品の二酸化炭素排出量削減

一次ポンプ

半導体業界のプロセスポンプにおけるお客様のエネルギー使用量の削減は、工程設備で最大のエネルギー消費であり、工場のエネルギー使用量の3分の1以上を占めています(SEMATECH Energy Researchによる)。半導体真空ポンプのグローバルな設置基盤 イギリスシェフィールド、または米国テキサス州プレイノのエネルギー消費量と同等.

信頼性を損なうことなく、エネルギーの節約および光熱費の削減を念頭において設計しています。プラットフォーム設計プロセスを使って、今後続く将来のポンプが消費するエネルギーは減り続けます。最新のドライポンプでは、 従来の当社製品と比較してエネルギー使用量が約30% 低下しています。アクティブ ユーティリティ コントロール (AUC) を導入したことにより、AUCからの信号を使ってポンプがアイドリング状態にあるときでもエネルギーとユーティリティの消費量をさらに削減するようになりました。

最新のプラットフォーム技術の利点が当社のポンプ全機種に使用されるよう徹底しています。これらの利点は、エドワーズのエネルギー効率アップグレードプログラムを通して、旧世代ポンプを使用しているお客様にご利用いただけます。

また、当社の設備で使用するエネルギーを最小限に抑えるようそれぞれのお客様に助言しています。

二次ポンプ

グローバルにエネルギー消費を抑えることは、地球温暖化に対する戦いの鍵となります。当社の生産施設と事務所でのエネルギー消費を最小化するだけでなく、最新の各種ターボ分子ポンプを使うことにより、お客様がエネルギー削減目標を達成できるようになります。エドワーズは、お客様がエネルギー効率のよいターボ分子ポンプに切り替えることができるよう、アップグレードプログラムを提供しています。

例えば、オイル拡散ポンプからSTPターボ分子ポンプに切り替えたときの利点は次の通りです:

  • 光熱費の低減(電力および水)
  • 年次保守またはオイル交換不要
  • ポンプ性能の向上
  • 騒音および振動が非常にわずか
  • 空間要件の低減

除害装置

半導体製造プロセスでフッ化炭素や六フッ化硫黄などのガスが使用されていますが、これらはその持続性と高い地球温暖化係数 (GWP) のために環境に対する懸念が小さくありません。これらの物質にはGWPが二酸化炭素の何千倍になるものもあります。事例: 二酸化炭素の100年あたりの地球温暖化係数 (GWP) が1の場合、同期間のSF6のGWPは23,500、NF3は16,100、CF4は6,630です。  (出典:IPCC第5次評価レポート、2014年)。

当社は、燃焼式除害技術を使って1990年代からお客様がこれらの物質の高次の破壊除去効率を達成できるようお手伝いしてきました。最近では、プラズマ技術により当社のお客様は工場全体で90%以上の二酸化炭素削減を達成しています。これは、世界半導体会議の目標と合致しています。フラットパネルおよび、太陽光パネルやLED照明などの新興環境装置を生産するにあたって、より高いガス流量に対処するためSpectra ZとSpectra G除害装置を開発しました。

Atlasの除害装置は従来の当社製品よりも燃料使用量が最大で50%減少します。また、エドワーズは、従来の各種除害製品のエネルギー効率をアップグレードするものとしてアトラステクノロジーを提供しています。ポンプと除害システムを組み合わせることで、革新的な「アイドルモード」技術を適用して、エネルギー節約もします。