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超高真空システム

Gamma Vacuum社製ポンプ:超高真空技術

最先端の真空科学

Edwardsは、イオンポンプ、チタンサブリメーションポンプ、非蒸発性ゲッターポンプの各種製品、および独占的にGamma Vacuum社製アクセサリを提供しています。

イオンポンプ

チタンイオンポンプ

チタンサブリメーションポンプ

チタンサブリメーションイオンポンプ

非蒸発性ゲッター(NEG)ポンプ

NEGカートリッジN200

SPC-NEG

デジタルSPC-NEGコントローラ

機械的振動を除去

キャプチャポンプには可動部品がありません。可動部品による振動や電気的ノイズは除去されています

高い放射線耐性

キャプチャポンプは108グレイを超える耐放射線材料で作られています。コネクタとケーブルも耐放射線材料で製造されているため、長期間の連続作動に耐えることができます

高温許容度

キャプチャポンプは特別に配慮することなく、250℃まで加熱できます。さらに、磁石を取り外すことで最大450℃まで加熱できます。長時間の高温加熱はどのUHVシステムにおいても不可欠です

定期的保守が不要

キャプチャポンプは実質的に保守が不要です。また、大気から密閉されているため、費用のかかる真空維持をすることなく、時間、コスト、資源を節約できます

低い初期運用コスト

仕様が類似した他のタイプの真空ポンプより初期費用が低く抑えられます。最低限の電力使用により、低コストの長期運用が実現します