Neues Sub-Fab-Managementsystem von Edwards: EdCentra

12. Juli 2017

„Hersteller setzen fortschrittliche Überwachungs- und Datenanalysesysteme für die Optimierung ihrer Fertigung ein. Dieselben Techniken lassen sich auch für den Sub-Fab-Bereich nutzen“, erklärt Geoffrey Stoddart, Global Marketing Director, Semiconductor Service Division, bei Edwards. „Zum Beispiel kann der Vakuumzustand die Wafer-Qualität beeinträchtigen und sich durch seinen Einfluss auf den Ertrag bzw. Verluste aufgrund unvorhergesehener Vakuumstörungen während der Wafer-Produktion auf die Gesamtanlagenkosten auswirken. EdCentra bietet wertvolle Daten zur Pumpenleistung und vorausschauenden Instandhaltung, mit denen sich die Werkzeugverfügbarkeit maximieren lässt.“




EdCentra ersetzt FabWorks und bietet mit seiner intuitiven, grafischen und vollständig anpassbaren Benutzeroberfläche viele neue und verbesserte Sub-Fab-Management-Funktionen. So können Sub-Fab-Anlagenbetreiber, Verfahrenstechniker oder Betriebsleiter den Zustand der Anlage in Echtzeit im Blick behalten und mit nur wenigen Klicks sofort Informationen zu Einzelgeräten abrufen. Mit der Funktion für umfassende Trendverlauf-Analysen lassen sich durch grafische Trendvergleiche zwischen mehreren Tools und Parametern schnell Ursachenanalysen für Ausfallmodi erstellen. Einige der fortschrittlichen Funktionen: Überwachung von Parameter-Grenzwerten und vorausschauende Instandhaltung für verfahrensspezifische Überwachung sowie zustandsorientierte Wartung und Wartungs-Pooling.




EdCentra wurde für das schnelle und zielgerichtete Eingehen auf neue Markt- und Kundenanforderungen entwickelt. Überwachungsfunktionen für neue und kritische Sub-Fab-Anlagen lassen sich nahtlos integrieren. Das System kann auf neue Datenbanktypen, Kommunikationsprotokolle und Datenmanagement-Ökosysteme abgestimmt werden.




Geoffrey Stoddart hierzu: „EdCentra ist bereit für die Zukunft. In die Entwicklung ist unser gesamtes Anlagen- und Prozess-Know-how eingeflossen und mit ihren Funktionen für Überwachung, erweiterte Diagnose und vorausschauende Wartung bietet die Software unseren Kunden die Gewissheit, dass ihre Sub-Fab-Infrastruktur ordnungsgemäß funktioniert und so zuverlässig die erwarteten Ergebnisse liefern kann.“

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