14. Januar 2019
F.D. Edwards und 100 Jahre Vakuumtechnologie
Der Physiker F. D. Edwards gründete Edwards Vacuum 1919 in London. Wahrscheinlich wäre die Größe, die das Unternehmen inzwischen erreicht hat, für ihn kaum vorstellbar gewesen. Unverändert geblieben sind jedoch der Erfindergeist, der nach wie vor Teil unserer Seele ist, und die enorme Wichtigkeit der Vakuumtechnik für Industrie und Technologie. Zwar wurden viele der kritischen Vakuumanwendungen, mit denen Firmengründer Edwards seinerzeit vertraut war (wie Glühlampen, Vakuumröhren, später auch CRT-Fernsehgeräte), inzwischen durch komplett neue Technologien (LEDs, Flachbildschirme, Halbleitertransistoren) ersetzt, die Bedeutung von Vakuum für Fertigungsverfahren hat sich jedoch erhöht und der Bedarf an innovativen Vakuumlösungen für neue Anwendungen steigt in atemberaubender Geschwindigkeit.
Wir haben in unserer 100-jährigen Firmengeschichte wichtige Fortschritte ermöglicht und gewinnen als Unternehmen weiterhin an Bedeutung für Wissenschaft und Technologie. In den letzten zehn Jahren wurden viele neue Vakuumanwendungen entwickelt bzw. weiterentwickelt, u. a. in der Produktion von Smartphones und Tablets, HB LED-Beleuchtung, Solar-PV-Modulen und Lithium-Ionen-Akkus für Elektrofahrzeuge. Die Anzahl der Bauteile eines modernen Smartphones beispielsweise, bei deren Herstellung Vakuum eine wesentliche Rolle spielt, ist überwältigend: von fortschrittlichen Halbleiterkomponenten wie Prozessoren und Speicher, MEMS-Sensoren, hochauflösenden LCD/LED-Bildschirmen, LED-Blitzleuchten und Li-Ionen-Akkus bis hin zur Ausformung des Gehäuses und entspiegelten, oleophoben Displaybeschichtungen. Der moderne Alltag wäre kaum vorstellbar ohne die Produkte, die mithilfe der Vakuumtechnologie hergestellt werden.
Im Bereich von Halbleiterverfahren sind Vakuumerzeugung und Abgasreinigung zwei der wichtigsten Sub-Fab-Funktionen und Grundlage für das Moorsche Gesetz. Vakuumpumpen evakuieren die Prozesskammern, stellen so die erforderlichen Drücke und Flussstärken für jeden Verfahrensschritt bereit und scheiden gleichzeitig ungenutztes Prozessgas und Nebenprodukte ab. Diese werden dem Abgasreinigungssystem zugeführt und dort behandelt, sodass sie ohne Bedenken abgelassen oder entsorgt werden können.In den 1980er-Jahren führten neue Halbleiterprozesse und steigender Gasdurchsatz zu Problemen, da sich aggressive Chemikalien und Feststoffe im Öl der ölgeschmierten „nassen“ Pumpen anreicherten. Das Ergebnis waren kurze Wartungsintervalle und hohe Betriebskosten. Gelöst wurden diese Probleme durch die Entwicklung und den Einsatz sogenannter „trockenlaufender Pumpen“, die ohne Öl auskommen. Henry Wycliffe von Edwards patentierte die trockenlaufende Roots-/Klauen-Pumpe im Jahr 1984. Das Verfahren etablierte sich schnell als neue Technologie für komplexe Halbleiterprozesse. Seitdem haben wir die Technologie ständig weiterentwickelt und so schnelle Fortschritte in der Halbleiterverfahrenstechnik und den komplexen und anspruchsvollen chemischen Verfahren ermöglicht, durch die die von Moore prognostizierte Entwicklungsbeschleunigung in der Halbleiterindustrie überhaupt erst realisierbar wurde. Ohne umwälzende Neuerungen im Bereich von Vakuum- und Abgasreinigungsanlagen wären viele neue Verfahren nicht möglich gewesen. Auch in puncto Umweltverträglichkeit unserer Produkte forschen wir beständig weiter. Vakuumpumpen allein können bis zu 25 % des Gesamtenergieverbrauchs einer Halbleiterproduktionsanlage ausmachen. Dank unserer vielen Innovationen lassen sich effizientere sowie nachhaltigere Produkte fertigen und gleichzeitig die zunehmenden Herausforderungen in Bezug auf Chemieverfahren und die beförderten Gase bewältigen. Unsere neueste trockenlaufende Pumpe für den Einsatz in der Halbleiterindustrie verbraucht beispielsweise 50 % weniger Energie als ihre Vorgängerin und bietet gleichzeitig höhere Leistung sowie längere Wartungsintervalle. Zudem ist sie kompakter und nimmt daher weniger Platz im Sub-Fab-Bereich in Anspruch. Außerdem ermöglichen unsere Abgasreinigungssysteme das sichere Management von zunehmend komplexeren Gaschemieverfahren und schützen die Umwelt derzeit vor 14 Millionen Tonnen CO2 pro Jahr.
F. D. Edwards war ein äußerst erfolgreicher Unternehmer. Die von ihm geschaffene Unternehmensumgebung war und ist bis heute ein fruchtbarer Boden für Innovation und Entwicklung. Viele der Märkte und Anwendungen, die wir bedienen, sind sehr dynamisch und bringen häufig wechselnde, neue und anspruchsvolle Produktanforderungen mit sich. Die Fähigkeit, innovative Lösungen für komplexe Herausforderungen zu entwickeln, ist daher ganz wesentlich für uns und wird von unseren zufriedenen Kunden geschätzt.Wie haben eine Vielzahl erfolgreicher Innovationen, neuer Produkte und Technologien entwickelt, die uns nach wie vor zu einem der führenden Anbieter von Lösungen für kritische Vakuumanwendungen machen. Wir setzen mehr als 20 unterschiedliche Verfahren für die Vakuumerzeugung und Abgasreinigung ein und haben über 2.300 Patente eingereicht.
Was die Zukunft auch bringen mag, Vakuumtechnologie wird weiterhin eine wichtige Rolle in der Verfahrenstechnik spielen. Der Umfang und die Anzahl der Anwendungen, die Vakuum erfordern, nehmen weiter zu. Und wir sind dank unserer Innovationsstärke für alle künftigen Herausforderungen gerüstet. Viele Aspekte unseres modernen Alltags wie die digitale Welt oder das sich ausbreitende „Internet der Dinge“ fordern durch die zunehmende Rechenleistung der vernetzten Produkte ständig neue und optimierte Lösungen. Wir müssen daher weiterhin Lösungen entwickeln, die durch den Einsatz energie- und materialeffizienter Produkte möglichst umweltverträglich sind, und darüber hinaus wissenschaftliche und technologische Innovationen fördern, die der Nachhaltigkeit und Produktivität zugute kommen.F. D. Edwards wäre sicherlich sehr stolz auf alles, was wir in unserer 100-jährigen Unternehmensgeschichte geleistet und erreicht haben, und wir hoffen auf weitere 100 erfolgreiche Jahre voller Innovation und Erfindergeist!
