Systém řízení výfukových plynů Spectra je nákladově efektivní, spolehlivé a vysoce výkonné odsávací řešení pro nejnovější generaci procesů výroby plochých monitorů (FPD) a solárních článků.
Odtah
• jedinečná technologie čtyřstupňového spalování
• účinné snižování emisí SiH4
• vysoká kapacita snižování průtoku emisí H2
• vynikající řízení vysokých průtoků NF3/F2
• vysoká kapacita pro snižování emisí NH3
• modulární konstrukce snižování emisí a řízení částic
• 80% účinnost odstraňování prášku
Odlučování kyselého plynu
• integrovaný mokrý odlučovač
• jednotka pro recirkulaci vody pro optimalizaci spotřeby vody
Zachytávání prášku
Spectra ZW2 – vodou chlazené snižování emisí s odstraňováním částic
• WESP (Modular Wet Electrostatic Precipitator)
• odstranění 99 % částic
• možnost manipulace s vysokým množstvím prášku
• nízké náklady na vlastnictví ve srovnání s alternativními řešeními. Aktualizace zde
