Suché vývěvy na výrobu polovodičů

Nízkoenergetické suché vývěvy řady iXM od společnosti Edwards mohou zefektivnit výrobní procesy, a to díky delší provozuschopnosti, nižšímu dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na nejkritičtější aplikace.

• Pomocí energeticky úsporného Rootsova mechanismu lze snížit příkon až o 60 %, což zapříčiní také omezení dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na vlastnictví
• Technologie plynové bariéry a vylepšení v oblasti tepelné konstrukce zajišťují 4krát vyšší odolnost proti korozi oproti našim předchozím řadám
• Pokročilé funkce manipulace s práškem zajišťují maximální spolehlivost a delší životnost čerpadla pro procesy leptání více vrstev 
• Nižší spotřeba energie pro procesy CVD
• Zvyšuje všestrannost díky kompaktnímu a lehkému provedení, které se vyznačuje mimořádně nízkou hlučností a vibracemi
• Řada iXM je k dispozici s technologií XCEDE, která zvyšuje odolnost proti korozi.
  
   

Řada suchých vývěv iXH stanovuje nové standardy výkonnosti při náročném provozu, spolehlivosti a nízkých nákladů na vlastnictví

• Díky širokému teplotnímu rozsahu lze výkon čerpadel optimalizovat, aby nedocházelo k nadbytečnému hromadění vedlejšího produktu při kondenzaci nebo pokovování
• Suché vývěvy iXH Mk2 poskytují ještě vyšší životnost v těch nejnáročnějších podmínkách a mohou také podstatně vylepšit energetickou účinnost
• Inovativní technologie těsnění vývěv může prodloužit životnost a snížit riziko úniku
• K dispozici s technologií XCEDE, která posiluje odolnost proti korozi
  
   

Řada nízkoenergetických kompaktních suchých vývěv iXL je určená pro lehký provoz a může být využita například při manipulaci s destičkami polovodičů, fyzikální depozici z plynné fáze (PVD) nebo metrologii.

• Rychlé odsátí komory a mimořádně nízká spotřeba energie 
• Suché vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) patří mezi nejmenší a nejtišší vývěvy, které jsou v dnešní době pro lehký provoz k dispozici 
• Vývěvy iXL600M a iXL1000M jsou ozkoušené v praxi a zkonstruované pro použití při dielektrickém (oxidačním) leptání a podobných aplikacích 
• Vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) jsou vybaveny vysokou rychlostí odsávání a nízkou spotřebou energie
• Vývěva iXL900R je nejrychlejší vývěva pro "loadlock" FPD aplikace ve své třídě. Tato nová vývěva, která zákazníkům umožní výrazně snížit provozní náklady a dobu instalace, je vhodná zejména do největších "loadlock" komor, v nichž probíhá fyzikální depozice z plynné fáze (PVD). Zákazníci navíc do každé "loadlock" komory budou potřebovat menší množství vývěv, což sníží dobu instalace, náklady na systemizaci a údržbu a spotřebu energie.
• Pomocí ekologického režimu lze omezit použití vývěv během chodu naprázdno, což má za následek snížení nákladů a podpoření výkonu v oblasti ochrany životního prostředí