Suché vývěvy na výrobu polovodičů

Řada suchých vývěv iXH stanovuje nové standardy výkonnosti při náročném provozu, spolehlivosti a nízkých nákladů na vlastnictví

• Díky širokému teplotnímu rozsahu lze výkon čerpadel optimalizovat, aby nedocházelo k nadbytečnému hromadění vedlejšího produktu při kondenzaci nebo pokovování
• Suché vývěvy iXH Mk2 poskytují ještě vyšší životnost v těch nejnáročnějších podmínkách a mohou také podstatně vylepšit energetickou účinnost
• Inovativní technologie těsnění vývěv může prodloužit životnost a snížit riziko úniku
• K dispozici s technologií Xcede, která posiluje odolnost proti korozi

Řada nízkoenergetických kompaktních suchých vývěv iXL je určená pro lehký provoz a může být využita například při manipulaci s destičkami polovodičů, fyzikální depozici z plynné fáze (PVD) nebo metrologii.

• Minimální odstávky komorové vývěvy a mimořádně nízká spotřeba energie 
• Suché vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) patří mezi nejmenší a nejtišší vývěvy, které jsou v dnešní době pro lehký provoz k dispozici 
• Vývěvy iXL600M a iXL1000M jsou ozkoušené v praxi a zkonstruované pro použití při dielektrickém (oxidačním) leptání a podobných aplikacích 
• Vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) jsou vybaveny vysokou rychlostí odsávání a nízkou spotřebou energie
• Vývěva iXL900R je nejrychlejší vakuová vývěva ve své třídě, která je momentálně dostupná pro výrobu plochých vakuových obrazovek (FPD). Tato nová vývěva, která zákazníkům umožní výrazně snížit provozní náklady a dobu instalace, je vhodná zejména do největších vakuových komor, v nichž probíhá fyzikální depozice z plynné fáze (PVD). Zákazníci navíc do každé vakuové komory budou potřebovat menší množství čerpadel, což sníží dobu instalace, náklady na systemizaci a údržbu a spotřebu energie.
• Pomocí ekologického režimu lze omezit použití vývěv během chodu naprázdno, což má za následek snížení nákladů a podpoření výkonu v oblasti ochrany životního prostředí