Při vysokém a velmi vysokém vakuu je mezní tlak dosažený v systému s turbomolekulární vývěvovou omezen podmínkami jak na jeho vstupu, tak na výstupu. Zde popisujeme proč tomu tak je.
Procesní zatížení ve vakuovém systému lze shrnout do následujícího schématu
V systémech HV, UHV a XHV převládá zatížení plynem z odplyňování, což je obecně souhrn desorpce povrchu, velkoobjemové difuze stěn komory a pronikání vnější atmosféry.
V těchto vakuových rozsazích se projevuje důsledek „provozního zatížení“, například v urychlovačích/kolidérech, kde může být povrchová „stimulovaná desorpce“ z dopadů elektronů, fotonů a iontů významným zdrojem plynu.
Celkový nebo konečný tlak Ptot nad turbomolekulární vývěvou je:
Kde PTi je parciální tlak i-tého plynu; to je určeno parciálním tlakem na výstupním vedení turbomolekulární vývěvy (PTbi) prostřednictvím kompresního poměru (CRi) turbomolekulární vývěvy pro každý z i plynů.
Odplyňování (a další zdroje plynu) v komoře itého plynu poskytne další zatížení PQi.
Kde Qi je zatížení plynu i-tého plynu a Si je rychlost turbomolekulární vývěvy pro i-tý plyn.
PQi a PTi jsou funkčně závislé, protože:
Si i CRi jsou závislé na vstupním tlaku a protitlaku a průtoku
kde So je nulová rychlost průtoku a Kmax je „nulový“ kompresní poměr průtoku. Proto při ignorování odplyňování a dalších zatížení je očekávaný mezní tlak
Zanechte své kontaktní údaje a stáhněte si celou aplikační poznámku.
