Your browser is not supported

Používáte prohlížeč, který již není podporován. Chcete-li nadále navštěvovat naše webové stránky, vyberte si jeden z následujících podporovaných prohlížečů.

Omezení mezního vakua dosaženého v systému s turbomolekulární vývěvou

Při vysokém a velmi vysokém vakuu je mezní tlak dosažený v systému s turbomolekulární vývěvovou omezen podmínkami jak na jeho vstupu, tak na výstupu. Zde popisujeme proč tomu tak je.

Jaký je proces zatížení plynu v systémech HV a UHV?

Procesní zatížení ve vakuovém systému lze shrnout do následujícího schématu

Turbo molecular pumper system diagram

  1. Procesní zatížení
  2. Odplyňování
  3. Netěsnosti
  4. Zpětný tok
  5. Počáteční plyn

V systémech HV, UHV a XHV převládá zatížení plynem z odplyňování, což je obecně souhrn desorpce povrchu, velkoobjemové difuze stěn komory a pronikání vnější atmosféry.

Electron photon ion

  1. Pronikání
  2. Vnější povrch 
  3. Vnitřní povrch
  4. Difuze
  5. Odpařování
  6. Desorpce

V těchto vakuových rozsazích se projevuje důsledek „provozního zatížení“, například v urychlovačích/kolidérech, kde může být povrchová „stimulovaná desorpce“ z dopadů elektronů, fotonů a iontů významným zdrojem plynu.

Celkový nebo konečný tlak Ptot nad turbomolekulární vývěvou je: 

Ultimate pressure turbomolecular pump formula

Kde PTi je parciální tlak i-tého plynu; to je určeno parciálním tlakem na výstupním vedení turbomolekulární vývěvy (PTbi) prostřednictvím kompresního poměru (CRi) turbomolekulární vývěvy pro každý z i plynů.

Formula partial pressure of ith gas

Odplyňování (a další zdroje plynu) v komoře itého plynu poskytne další zatížení PQi.

Kde Qi je zatížení plynu i-tého plynu a Si je rychlost turbomolekulární vývěvy pro i-tý plyn.

Existují však komplikující faktory

PQi a PTi jsou funkčně závislé, protože:

Si i CRi jsou závislé na vstupním tlaku a protitlaku a průtoku

Formula for Limitations on ultimate vacuum achieved in a turbomolecular pumped system article

kde So je nulová rychlost průtoku a Kmax je „nulový“ kompresní poměr průtoku. Proto při ignorování odplyňování a dalších zatížení je očekávaný mezní tlak

Formula for Limitations on ultimate vacuum achieved in a turbomolecular pumped system article