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超高真空系統

Gamma Vacuum 泵浦:超高真空技術

先進真空技術

愛德華透過 Gamma Vacuum 提供一系列離子泵浦、鈦昇華泵浦、非蒸散型吸附泵浦和專用配件。

離子泵浦

運作方式為何?

鈦離子泵浦

鈦昇華泵浦

查看運作方式

鈦昇華離子泵浦

非蒸散型吸附 (NEG) 泵浦

NEG 運作方式為何?

NEG cartrige N200

SPC-NEG

DIGITEL SPC-NEG 控制器

消除機械震動

吸附型泵浦沒有移動零件,因此消弭了移動零件所產生的震動和電氣噪音

高輻射耐受性

吸附型泵浦由超過 108 Gray 的耐輻射材料製成。接頭和電纜還採用耐輻射材料製成,可連續運作多年

耐高溫

無需任何特別考慮,吸附型泵浦可烘烤至 250°C。取下磁體可使高溫烘烤達到 450°C。長時間熱烘烤對於每個 UHV 系統都至關重要

無需定期維護

吸附型泵浦幾乎不需要維護,由於與大氣隔絕,因而免除昂貴的真空相關成本,從而節省了時間、金錢和資源

初期營運成本低

初始成本通常低於其他類型真空泵浦的相似規格。多年來低成本運作,因此消耗功率極少或無消耗功率