超高真空系統

超高真空泵浦

在地球上創造最純淨的真空環境

Gamma Vacuum 泵浦 - 超高真空技術

愛德華透過 Gamma Vacuum 提供一系列離子泵浦、鈦昇華泵浦、非蒸散型吸附泵浦和配件。

Gamma Vacuum 鈦離子泵浦
離子泵浦

離子泵浦也稱為濺射離子泵浦或離子吸附泵,是使用陽極/陰極陣列使氣體電離的吸附型泵浦。離子濺射反應性陰極材料產生化學反應,將離子化的氣體變成固體化合物。這些化合物不再導致真空系統的壓力,而是永久性地被吸附到離子泵浦中。離子泵浦可以在 10-5 到 10-12 mbar 的壓力下運行,擁有 0.2 至 1200 l/s 的氮抽氣速度。

Gamma Vacuum 鈦熱昇華泵浦
鈦昇華泵浦

TSP 的工作方式是加熱鈦絲並將鈦分子昇華(從固相轉變為氣相)到表面上。然後可以將昇華的鈦分子與反應性氣體(例如氧氣和氮氣)進行化學反應,並使氫解離並擴散。TSP 可以在 10-5 到 10-12 mbar 的壓力下運行,擁有超過 10,000 l/s 的氫抽吸速度。

NEG Cartridge N200
非蒸散型吸附泵浦

NEG 是反應性金屬,已被壓在固體基材上或燒結成圓盤。已發現鋯、釩和鐵的特定組合最適合於 HV 和 UHV 環境。所使用的材料量控制著 NEG 泵浦的速度和容量,但速度範圍通常為 55 至 412 l / s,容量通常為 630 至 3600 Torr l / s。隨著 NEG 充滿氣體,氣體可以被重新激活而無需排入大氣。

消除了機械振動

俘獲型泵浦沒有移動零件。消除了移動零件產生的振動和電氣噪聲

高輻射耐受性

吸附型泵浦由超過 108 Gray 的耐輻射材料製成。接頭和電纜還採用耐輻射材料製成,可連續運行多年

耐高溫

無需任何特別考慮,吸附型泵浦可以烘烤至 250°C。取下磁體可使高溫烘烤達到 450°C。長時間熱烘烤對於每個 UHV 系統都至關重要

無需定期維護

吸附型泵浦幾乎不需要維護,由於與大氣隔絕,因而免除昂貴的真空相關成本,從而節省了時間、金錢和資源

初期運營成本低

初始成本通常低於其他類型真空泵浦的可比規格。多年來低成本運行,它們消耗的功率很少或不消耗功率

Gamma Vacuum 的離子泵浦的工作原理

離子泵浦是一種真空吸附型泵浦,該影片介紹了它們的基本工作原理。那些剛接觸離子泵浦的人會發現這非常有用。另一方面,經驗豐富的粒子物理學家會對將這項技術介紹給新手的創意感到高興

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Gamma Vacuum 的離子泵浦元件樣式

離子泵浦是一種真空吸附型泵浦,該影片介紹了離子泵浦元件在傳統二極管 (CV)、差分二極管(DI 或貴金屬二極管)和三極管 (TR) 樣式中的區別。

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Gamma Vacuum 的鈦昇華泵浦的運行

鈦昇華泵浦 (TSP) 如何用於從高真空或超高真空系統中去除氣體分子的基本描述。TSP 通常與離子泵浦結合使用。該影片無音訊。

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Gamma Vacuum 的非蒸散型吸附泵浦 (NEG) 的運行

非蒸散型吸附泵浦 (NEG) 如何用於從高真空或超高真空系統中去除氣體分子的基本描述。NEG 通常與離子泵浦結合使用。*該影片無音訊。*

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