Анализатор технологических газов Edwards – управление процессом в режиме реального времени для производства полупроводников
iTrap® – это компактная высокочувствительная масс-спектрометрическая ионная ловушка с преобразованием Фурье. Это идеальный инструмент для анализа процессов и встроенного управления процессами. Его можно использовать в научно-исследовательских и производственных средах. iTrap помогает надежно обнаруживать малейшие следы реакции побочных продуктов или загрязнений. Он помогает отслеживать эффективность очистки и анализировать состояние камеры. Массовый спектр измеряется практически в реальном времени, вы можете отслеживать очень небольшие количества молекул в технологической камере. iTrap – это мощный инструмент в руках исследователя или инженера по разработке процессов. Он также может использоваться в качестве интеллектуального датчика, интегрируемого и контролируемого другим технологическим инструментом.
Преимущества Edwards iTrap:
