Ваш браузер не поддерживается

Вы используете браузер, который мы больше не поддерживаем. Чтобы продолжить навигацию по нашему веб-сайту, выберите один из следующих поддерживаемых браузеров.

iTrap® Process Gas Analyzers

Посмотрите на то, чего вы раньше не видели

Image of the Edwards process gas analyser iTrap


iTrap® is a compact, highly sensitive ion trap Fourier Transform mass spectrometer. It is an ideal tool for process analysis and inline process control. It can be used in R&D and production environments. iTrap supports you reliably in detecting the smallest traces of reaction byproducts or contamination, it helps you to investigate effectiveness of cleans and analyze chamber health. A mass spectrum is measured in almost real time, and you can trace very small amounts of molecules in your process chamber. iTrap is a powerful tool in the hands of a researcher or process development engineer and can also be used as an intelligent sensor integrated and controlled by other process tool equipment.


Преимущества

Преимущества Edwards iTrap: 

  • Скорость | Возможность измерений в режиме реального времени, полный спектр за <0,5 с
  • Чувствительность | Измерения малых концентраций 
  • Компактность | Можно интегрировать с технологической камерой. Стандартизированный программный интерфейс, готовый для использования с внешними химическими веществами. 
  • Устойчивость к корродирующим веществам | Инертная поверхность, без детекторов. Выдерживает воздействие H2, Cl, F и других агрессивных химикатов