Ваш браузер не поддерживается

Вы используете браузер, который мы больше не поддерживаем. Чтобы продолжить навигацию по нашему веб-сайту, выберите один из следующих поддерживаемых браузеров.

Верхний баннер криогенного насоса Edwards CTI-Cryogenics 320F XVS

Криогенный насос On-Board IS 320F XVS

Решение для современных задач со строгими требованиями, связанных с ионной имплантацией

Достижение новых уровней производительности криогенного насоса

Криогенный насос Edwards CTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVS в вертикальном положении

Криогенный насос On-Board® IS 320F XVS предназначен для обеспечения максимальной производительности при перекачивании водорода и оптимизации процесса. Он представляет собой идеальное решение для современных задач, связанных с ионной имплантацией.Интеллектуальное управление системой, интегрированное в криогенный насос, обеспечивает улучшение качества процесса, стабильность вакуума и бесперебойную работу, а также предоставляет информацию о системе в режиме реального времени для оптимального контроля температуры в имеющемся диапазоне. Качество вакуума повышается за счет автоматической адаптации к изменяющимся условиям тепловой/газовой нагрузки.

   

Характеристики и преимущества

  • Снижение изменения скорости откачки насоса по водороду H2 между регенерациями
  • Снижение воздействия на скорость откачки насоса по водороду H2 вследствие загрязнения фоторезиста
  • Оптимизированная стабильная температура в диапазоне

  • Высокая скорость перекачивания насоса по водороду H2 – 15 500 л/с
  • Большой объем H2 – 40 ст. л

  • Системы криогенных насосов On-Board IS
  • Компрессоры IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS

Свяжитесь с нами, чтобы узнать больше

Перейдите по этой ссылке

Loading...