Наша продукция

Мы серьезно относимся к вопросам устойчивого развития и работаем над тем, чтобы наша продукция и способы ее изготовления стали более экологически безопасными. Мы сделали несколько серьезных шагов на пути разработки оборудования, конструкция которого учитывает экологические аспекты. Эффективное использование ресурсов играет ключевую роль при разработке наших продуктов, позволяя нам снизить стоимость владения для клиентов, особенно за счет сокращения потребления воды и электроэнергии.

Продукты последнего поколения со сниженным выбросом углерода

Форвакуумные насосы

Несмотря на то, что насосы позволяют сократить энергопотребление в полупроводниковой отрасли, они являются одним из самых энергозатратных компонентов оборудования, на которое, в свою очередь, приходится более трети всей энергии, расходуемой заводом (SEMATECH Energy research). Все вакуумные насосы на всех заводах мировой полупроводниковой отрасли потребляют столько же электроэнергии, сколько британский город Шеффилд или город Плейно в Техасе.

Мы проектируем более энергоэффективные и дешевые в эксплуатации насосы высочайшего качества. Наш платформенный подход к процессу проектирования позволяет снижать энергозатратность наших насосов с каждым следующим поколением. Например, сухие насосы последнего поколения потребляют примерно на 30 % меньше электроэнергии, чем насосы предшествующего поколения. С появлением системы активного управления ресурсами (AUC) мы сможем еще больше сократить энергопотребление за счет нахождения насосов в режиме ожидания до получения сигнала от станка.

Мы следим за тем, чтобы преимущества наших новейших технологий были реализованы во всех производимых компанией насосах. Клиенты, которые используют насосы предыдущих поколений, также смогут воспользоваться этими преимуществами, модернизировав свое оборудование в рамках специальных программ Edwards.

Мы также консультируем наших клиентов по вопросам минимизации энергопотребления нашим оборудованием.

Насосы второй ступени

Сокращение энергопотребления во всем мире — ключевой момент в борьбе с глобальным потеплением. Помимо минимизации энергопотребления нашими заводами и офисами, мы разработали новейшее поколение турбомолекулярных насосов, которые позволят нашим клиентам сократить энергопотребление. Компания Edwards предлагает программу модернизации оборудования, в рамках которой клиенты смогут перейти на более энергоэффективные турбомолекулярные насосы.

Переход с масляных диффузионных насосов на турбомолекулярные имеет, к примеру, следующие преимущества:

  • Снижение коммунальных расходов (электроэнергия и вода)
  • Отсутствие необходимости в ежегодном техническом обслуживании и замене масла
  • Более высокая производительность насоса
  • Низкий уровень шума и незначительная вибрация
  • Компактность

Очистные системы

В ходе производственных процессов в полупроводниковой отрасли используются газы, такие как фторуглерод и гексафторид серы. Эти газы несут серьезную угрозу окружающей среде из-за своей высокой инертности и высокого потенциала глобального потепления (GWP). Индекс GWP этих веществ в несколько тысяч раз выше, чем у диоксида углерода. Например, если потенциал глобального потепления CO2 за 100 лет равен единице, то за тот же период для SF6 он составит 23 500, для NF3 — 16 100, а для CF4 — 6630.  (Источник: Пятый доклад об оценке МГЭИК, 2014 г.).


С середины 1990-х гг. мы помогаем нашим клиентам как можно эффективнее избавляться от этих веществ, разрабатывая технологии для очистки путем сжигания. В последние годы технология с использованием плазмы позволила нашим клиентам снизить заводские выбросы CO2 более чем на 90 % и достигнуть целей, поставленных на форуме World Semiconductor Council. Для производства плоских экранов и таких экологически чистых устройств, как солнечные панели и светодиоды, мы разработали очистные системы Spectra Z и Spectra G, способные успешно справляться с повышенным потоком газа.


Наше оборудование для очистки Atlas потребляет на 50 % меньше топлива, чем оборудование предшествующих поколений. Кроме того, компания Edwards предлагает своим клиентам заменить устаревшие очистные системы на более энергоэффективную технологию Atlas. При совместном использовании насосов и очистных систем мы применяем инновационную технологию «холостого режима», которая также позволяет сократить энергопотребление.