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Edwards Cryo-Torr 크라이오 펌프

Cryo-Torr 크라이오 펌프

중요한 진공 공정 분야를 위한 깨끗하고 안정적인 고속 펌핑

깨끗하고 안정적입니다

낮은 운용 비용과 빠르고 쉬운 유지 보수를 제공하는 이 크라이오 펌프는 신뢰할 수 있는 신속한 대응 서비스를 통해 높은 신뢰성과 저렴한 비용 대비 성능을 제공합니다. 유연성을 높이기 위해 사용자 정의 컨트롤과 지원 주변 장치를 추가하여 특정 응용 분야의 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

 

주요 특징

  • 낮은 가동 비용 제공 
  • 빠르고 쉬운 유지보수
  • 높은 신뢰성 
  • 뛰어난 성능

Cryo-Torr 펌프 모델     8 8F 10 10F 400
구성     일자형 편평형 일자형 편평형 일자형
진공 플랜지 ID(금속 씰, ANSI, ISO)     200 mm 200 mm 290 mm 300 mm 400 mm
가스 펌핑 속도              
  리터/초 4,000 4,000 9,000 9,500 16,000
  에어 리터/초 1,500 1,500 3,000 3,600 6,000
  수소 리터/초 2,500 2,200 5,000 6,000 5,000
  아르곤 리터/초 1,200 1,200 2,500 3,000 5,000
가스 용량              
  수소 표준 리터 17 8 24 24 15
  아르곤 표준 리터 1,000 1,000 2,000 2,000 2,500
처리량              
  아르곤 Sccm 700 700 1,500 1,500 500
  아르곤 Torr-리터/초 9 9 19 19 6
교차형   Torr-리터 150 150 300 300 300
냉각 시간              
    60Hz 90분 90분 100분 100분 150분
    50Hz 110분 110분 120분 120분 180분
크라이오 펌프 중량              
    Lbs 45 42 85 90 160
    kg 20 19 39 41 73

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