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nEXT M磁気浮上型ターボポンプ

nEXT M 3207ターボ分子ポンプ

コーティング、研究、産業向け磁気浮上型ターボ分子ポンプ

nEXT Mポンプは、3,000 l/sの排気速度クラスで市販されている最も軽量でコンパクトな磁気浮上型ターボポンプであり、コーティング用途、研究、産業プロセスに最適です。

精密なオペレーションに不可欠なクリーンで安定した環境を提供するnEXT M磁気浮上型ポンプは、信頼性が高いだけでなく、最大10,000サイクルまでメンテナンス不要です。 

nEXT 2807Mおよび3207M磁気浮上型ターボポンプ

磁気浮上型ターボポンプは、MagポンプやMaglevポンプとも呼ばれ、高い実績を誇るベアリング式ターボ分子真空技術に基づいています。

ベアリング式ポンプと磁気浮上型ターボ分子ポンプの主な違いは、「ローター」ブレードと「ステータ」ブレードが、オイル潤滑式ベアリングシステムではなく、精密に作られた磁石によって所定位置が固定されることです。 

つまり、摩擦や振動を最小限に抑えよりクリーンで汚染のない真空性能を実現するため、コーティングなどのプロセスに最適です。 

また、電磁ベアリングは、機械的衝撃や、ほこりや湿気への耐性もあるため、過酷な産業環境にも適しています

しかし、nEXT Mシリーズが本当に際立っているのは、その汎用性です。

nEXT Mターボポンプの利点:

  • コンパクトで軽量:nEXT Mは、市場において最も小型で軽量の磁気浮上型ターボポンプの1つであり、設置スペースが限られている場合に最適な選択肢となります。
  • 任意の方向に取り付け可能:完全な柔軟性を実現するために、チャンバー上の様々な角度から取り付けることができます。
  • 超クリーンな動作:nEXT Mポンプは、オイルと汚染物質をまったく含まず、最小限の振動レベルで動作するため、クリーンな真空レベルが最も必要とされる繊細なプロセスに対応する用途に最適です。
  • 高信頼性の性能:5軸能動型磁気ベアリングおよびドライブシステムにより、摩擦レベルが大幅に低減され、高信頼性と低故障率の性能を発揮します。
  • 排気速度の範囲:nEXT Mは、幅広いガスに最適化されており、最大3,200 l/sの排気速度を実現します。
  • 最小限のメンテナンス:摩耗や損傷が少ないため、すべてのモデルは、最長80,000時間までメンテナンス不要です。
nEXT2807MおよびnEXT3207Mターボ分子ポンプ

nEXT Mターボポンプの用途:

nEXT Mポンプは、繊細なプロセスや厳しい産業環境に最適です。

コーティング

ガラスレンズ、手術器具、ソーラーパネルから、航空宇宙部品、天文学で使用される望遠レンズまで、数千もの製品に対応しています

科学研究

宇宙環境のシミュレーションから粒子加速器や核融合研究まで

一般産業

炉の溶接用途および精密機械部品

nEXT Mターボポンプに関するよくある質問:

nEXT Mポンプを使用する場合の業務上のメリットとは

炭化水素を含まない性能、耐久性、信頼性、低振動レベル。

一般的なメンテナンスサイクル

最長80,000時間、または10,000の起動/停止サイクルまでメンテナンス不要の性能。

このポンプがコーティング用途に最適な理由

コーティング用途には、振動を最小限に抑えた安定した環境が必要です。 

冷却方法

ポンプの入口/出口ポートを経由した水冷却プロセスにより、ポンプの効率的な冷却を実現します。

この範囲で利用可能な排気速度の範囲

nEXT 2807Mの排気速度は最大2,500 l/s、nEXT 3207Mの排気速度は最大3,200 l/sです。

nEXT M磁気浮上型ターボポンプ - デジタルカタログ
English
nEXT M turbomolecular pumps - Datasheet

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