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iTrap® Process Gas Analyzers

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Image of the Edwards process gas analyser iTrap


iTrap® is a compact, highly sensitive ion trap Fourier Transform mass spectrometer. It is an ideal tool for process analysis and inline process control. It can be used in R&D and production environments. iTrap supports you reliably in detecting the smallest traces of reaction byproducts or contamination, it helps you to investigate effectiveness of cleans and analyze chamber health. A mass spectrum is measured in almost real time, and you can trace very small amounts of molecules in your process chamber. iTrap is a powerful tool in the hands of a researcher or process development engineer and can also be used as an intelligent sensor integrated and controlled by other process tool equipment.


メリット

Edwards iTrapの特長: 

  • スピード - リアルタイム(0.5秒未満)でフルスペクトルの測定が可能
  • 感度 | 微量濃度測定 
  • コンパクト性能 - プロセスチャンバとの一体化が可能。無関係な化学物質に対応するソフトウェアインターフェースを標準搭載。 
  • 腐食に対する堅牢性 - 不活性表面を採用、検出器なし。H2、CI、F、その他強力な化学物質への耐性