MaxCool 2500 Lクライオチラー

より低い真空レベルを迅速に達成

水蒸気排気

通常、水蒸気は最も反応性の高い汚染物質です。MaxCool Cryochillerを使用すると、既存のシステムの製品排気量を20〜100%向上させ、堆積品質を向上させることができます。

MaxCool Advantage

  • 高真空ポンプダウン時間を最大75%まで短縮
  • 水蒸気の高速排気: 作業空間において10,000~140,000 l/秒
  • 製品排気量が20%から100%に増加
  • 処理中の水蒸気分圧を低くして、フィルムの品質を高め、密着性を向上させ、堆積を再現可能にします
  • 液体ニトロゲン冷却マイスナーと比較して優れたコスト/パフォーマンス
  • 電源管理で所有コストを最小化
  • 幅広いプロセスに対応した大容量の冷暖房

MaxCoolクライオチラーを真空システムに追加すると、ポンプダウン時間を劇的に短縮し、製品の排気量を向上させることができます。MaxCoolは、「スタート」から数分以内に水蒸気を送り出し、4分未満で霜取りを行い、真の高速サイクル機能を提供します。また、「Rapid Cool to Cool (急速冷却から冷却)」と呼ばれるオプションがあり、これにより霜取り後の待機期間がなくなります。システムにとって、これはシフトごとの生産サイクルが増加することを意味します。

MaxCoolは特許取得済みのPolycold® 冷媒混合物を使用して、マイスナートラップの原理に基づいて動作します。水蒸気は、マイスナーコイルと呼ばれる極低温で冷却された表面での凝縮によって捕捉されます。Meissner(クライオコイル)は真空チャンバーに直接取り付けられているため、コンダクタンスはポート、マニホルド、バルブ、バッフルによって制限されません。クライオコイルは取り付けやすく、どのようなシステムにも適合できます。

高真空バルブは必要ありません。

MaxCoolクライオチラーは、拡散ポンプ、ターボポンプ、またはヘリウムクライオポンプシステムに追加できる最もコスト効率に優れたアップグレードです。

MaxCoolクライオクーラーは、低欧州用途冷媒 (EC 1005/2009)、モントリオール議定書およびUS EPA SNAPに準拠しています。

利点

  • -120~-145C (153~128K)
  • 2500ワットまで熱除去
  • 140,000 l/秒の速度、8 x 10-10 torr (1 x 10-9mbar) までの真空レベルをもって、真空システム内で水蒸気を低温凝縮
  • 理論上の最大排気速度208,600 l/s
  • 急速冷却から冷却までの生産性の向上
  • 所有コストを最小化する電源管理のオプション
  • 温度調整
  • 特許取得済みのGreen冷媒注入は、国際的に準拠しており、毒性も不燃性もありません
  • Polycoldで実証済みの革新的で信頼性の高い混合ガス冷凍に基づきます
  • EU PEDおよびMDに準拠
  • NRTL/CANADA安全基準に合致したTUV Rheinland認定
  • ISO 9001:2008認定メーカー