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iXドライポンプ

トータルコストを抑えながら、より環境にやさしく、信頼性も向上

  • iXMシリーズ - 低エネルギー使用、高パフォーマンス
  • 過酷な環境向けのiXHシリーズ
  • ライトデューティー用途向けのiXLシリーズ
iXMシリーズ - 低エネルギー使用、高パフォーマンス

エドワーズのiXM低エネルギーシリーズドライポンプは、稼働時間の増加、環境への影響の低減、および最も重要な用途のコスト上のメリットがあり、貴社に本当のプロセス改善をもたらします。

  • エネルギー効率の良いルーツメカニズムにより、入力電力を最大60%削減でき、環境への影響と所有コストを低減できます。
  • ガスバリア技術と熱設計の改善により、以前のシリーズの4倍の耐食性を実現
  • 高度な粉体処理機能により、多層エッチングプロセスで最高の信頼性とポンプ寿命の延長を実現 
  • CVDプロセスの電力消費量を削減
  • コンパクトで軽量な設計がまれにみる低ノイズと低振動と相まって、貴社により大きな汎用性をもたらします
  • iXMシリーズは、耐食性の強化のためにXCEDEテクノロジーを使用できます。

     
Edwards iXM dry pump front and angled view side cover removed
過酷な環境向けのiXHシリーズ

iXHドライポンプの製品群では、過酷なプロセス処理能力、信頼性および維持コスト削減のための新しいスタンダードを打ち立てています。

  • 温度範囲が広いため、凝縮とめっきによる副産物の蓄積を最小限に抑えるようポンプを最適化できます。
  • iXH Mk2ドライポンプは、最も過酷なプロセスでさらに耐用年数を延長し、電力効率を大幅に改善できます。
  • 革新的なポンプシール技術により、プロセス寿命を延ばし、リークのリスクを低減できます。
  • 耐食性の強化のためにXCEDEテクノロジーを使用できます。

     
Edwards iXH semiconductor dry pumps
ライトデューティー用途向けのiXLシリーズ

iXLシリーズは、ウェハハンドリング、PVD、計測などのライトデューティー用途向けの低エネルギーのコンパクトドライポンプです。

  • チャンバーの高速排気と非常に低い電力使用 
  • iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、ライトデューティー用途向けの最小で最も静かなポンプです。 
  • iXL600MおよびiXL1000Mタイプは、プロセス強化され、絶縁体(酸化物)エッチングおよび他の同様のアプリケーション向けに特別設計されています。 
  • iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、高い排気速度と低エネルギー消費を特徴としています
  • iXL900Rは、現在FPDロードロックアプリケーション用のこのクラスで現在入手可能な最速ロードロックポンプです。この新しいポンプは、プラズマ蒸着(PVD)アプリケーションに使用される最大のロードロックチャンバーに特に適しており、お客様は、運転コストと設置時間を大幅に削減できます。さらに、ロードロックチャンバーごとに必要なポンプ数が少なくなるため、設置時間、システム化コスト、メンテナンス、およびユーティリティ消費量が削減できます。
  • グリーンモードを使用すると、アイドリング期間のユーティリティ使用量を低減し、コストを削減しながら環境パフォーマンスを向上できます。

エドワーズのiXM低エネルギーシリーズドライポンプは、稼働時間の増加、環境への影響の低減、および最も重要な用途のコスト上のメリットがあり、貴社に本当のプロセス改善をもたらします。

  • エネルギー効率の良いルーツメカニズムにより、入力電力を最大60%削減でき、環境への影響と所有コストを低減できます。
  • ガスバリア技術と熱設計の改善により、以前のシリーズの4倍の耐食性を実現
  • 高度な粉体処理機能により、多層エッチングプロセスで最高の信頼性とポンプ寿命の延長を実現 
  • CVDプロセスの電力消費量を削減
  • コンパクトで軽量な設計がまれにみる低ノイズと低振動と相まって、貴社により大きな汎用性をもたらします
  • iXMシリーズは、耐食性の強化のためにXCEDEテクノロジーを使用できます。

     
Edwards iXM dry pump front and angled view side cover removed

iXHドライポンプの製品群では、過酷なプロセス処理能力、信頼性および維持コスト削減のための新しいスタンダードを打ち立てています。

  • 温度範囲が広いため、凝縮とめっきによる副産物の蓄積を最小限に抑えるようポンプを最適化できます。
  • iXH Mk2ドライポンプは、最も過酷なプロセスでさらに耐用年数を延長し、電力効率を大幅に改善できます。
  • 革新的なポンプシール技術により、プロセス寿命を延ばし、リークのリスクを低減できます。
  • 耐食性の強化のためにXCEDEテクノロジーを使用できます。

     
Edwards iXH semiconductor dry pumps

iXLシリーズは、ウェハハンドリング、PVD、計測などのライトデューティー用途向けの低エネルギーのコンパクトドライポンプです。

  • チャンバーの高速排気と非常に低い電力使用 
  • iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、ライトデューティー用途向けの最小で最も静かなポンプです。 
  • iXL600MおよびiXL1000Mタイプは、プロセス強化され、絶縁体(酸化物)エッチングおよび他の同様のアプリケーション向けに特別設計されています。 
  • iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、高い排気速度と低エネルギー消費を特徴としています
  • iXL900Rは、現在FPDロードロックアプリケーション用のこのクラスで現在入手可能な最速ロードロックポンプです。この新しいポンプは、プラズマ蒸着(PVD)アプリケーションに使用される最大のロードロックチャンバーに特に適しており、お客様は、運転コストと設置時間を大幅に削減できます。さらに、ロードロックチャンバーごとに必要なポンプ数が少なくなるため、設置時間、システム化コスト、メンテナンス、およびユーティリティ消費量が削減できます。
  • グリーンモードを使用すると、アイドリング期間のユーティリティ使用量を低減し、コストを削減しながら環境パフォーマンスを向上できます。

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