当社の革新的なドライポンプ製品群は、最先端のテクノロジーで、半導体および電子機器の生産効率の向上に貢献します。各製品群は、省エネルギー、過酷なプロセスでの信頼性、およびライトアプリケーションでの高速排気においてメリットをもたらすように個別設計されています。
iXM省エネルギードライポンプは、最も重要なアプリケーションにおいて稼働時間の増加、環境負荷の低減、およびコスト面でのメリットをもたらし、プロセスを改善します。
iXHドライポンプの製品群では、過酷なプロセス処理能力、信頼性およびメンテナンスコスト削減の新しいスタンダードを打ち立てています。
iXLシリーズは、ウェーハ搬送、PVD、計測機器などのライトデューティー向けの省エネルギーのコンパクトドライポンプです。
