課題に対処するための設計
Edwards Polycold® PFC水蒸気クライオチラーは、通常、高真空システムのガス負荷の65～95％を占める水蒸気を効果的に捕捉します。
始動から数分以内に蒸気を排出し、4分未満で霜取りを行うことで、処理中の水蒸気分圧を下げて、高品質、優れた接着性、再現性のある凝結を実現します。
お使いの真空システムにPFCクライオチラーを追加することで、ポンプダウン時間を25～75％短縮し、処理能力を20～100％向上させることができます。さらに、PFCクライオチラーは、液体窒素冷却のマイスナーと比べて優れたコストパフォーマンス比を実現し、通常、1年足らずで投資回収が可能です。
主な機能
- -90～-155℃（183～118 K）
- シンプルなチューブタイプの冷却エレメント
- 速度200,000 l/秒、真空レベル最大2 x 10～12 Torrによる真空システム内の水蒸気の極低温凝縮（モデルと用途により異なります）
- 最大3,600ワットの熱除去
- 国際的な基準に準拠しており、毒性も可燃性もないグリーン冷媒注入
- 特許取得済みの極低温冷凍プロセスと冷媒混合物
- 各種のクライオコイル構成が可能
- Polycold Edwards Data Sheet PFC Water Vapor Cryochiller 731.2 kB, PDF
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