除害システムのアップグレードが大手半導体メーカーの貴重な生産時間をどのように延ばしたか

ウェハのスループットと生産稼働時間の維持は、お客様にとって重要な優先事項です。

チャンバがオフラインになり、ストッカが減速すると、ファブの効率とウェハのスループットが低下します。

しかし、問題がいつもクリーンルームにあるとは限りません。サブファブに隠れている可能性があります。

除害システムに粉末が蓄積すると、製造のダウンタイム発生の原因となったり、サブファブのサービス停止や関連コストの増加を招いたりする可能性があります。
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頻繁なメンテナンスによる停止のため、生産とサブファブ業務両方の貴重な時間が失われる可能性があります。1回のサービスに8時間、またエンジニア2人が必要となり、貴重な生産時間とメンテナンス費用を失うことになります。

あるパワー半導体の大手メーカーが、どのようにサービスコストを最小限に抑え、生産時間を延ばし、除害装置のバックアップシステムを不要にしたかをご覧ください。