ECAL1 Calibration system - Datasheet
校正システムECAL1
Edwards校正システムECAL1は、Edwards T-station 85Hターボ分子ポンプステーションをベースとする全自動ポンプシステムです。
システムには真空チャンバーと2つの基準圧力計が装備されています。こちらでは、Edwards Barocel 7000シリーズのBarocel 7025キャパシタンスマノメータゲージが取り付けられた状態で示されています。
この校正システムは、品質プロセスで真空測定の精度と再現性が重要な側面となる幅広い用途での使用向けに設計されており、プロセスの安定性と製品の品質を守ります。
校正システムECAL1は、1000～10-4 mbarの圧力測定範囲で、基準ゲージとテストゲージ間の出力を比較します。ユーザーは、さまざまな校正プロセス条件の不確実性を考慮しながら、基準ゲージとテストゲージの許容範囲を定義する必要があります。校正手順の間に、テストゲージの調整は実施されない点にご注意ください。
基準圧力計は、TICインスツルメントコントローラを介して接続され、制御されます。TICインスツルメントコントローラには、直感的で使いやすいグラフィカルインターフェイスが備わっており、タッチセンサーパネルから操作できます。測定結果はTICコントローラで確認することもできますし、RS232/485を介して接続して、リモートPC上で制御およびデータの監視を行うこともできます。
以下をクリックして、TICコントローラ用の最新の製品サポートとソフトウェアをダウンロードしてください。
校正システムECAL1
ECAL1が選ばれる理由
- 取り扱いが簡単
- テーブルトップ構成
- 圧力測定
- テストゲージ精度をすばやく保証
- TICインスツルメントコントローラ
- 容易なポンプ接続
校正証明書
基準ゲージには、英国国内規格適合の工場校正証明書が付属しています。基準ゲージは、年に一度、再校正することをお勧めします。
このサービスの詳細については、Edwardsにお問い合わせください。
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