PM2.5の課題
半導体プロセスで頻繁に粒子汚染が発生すること、サイズが重要な理由、健康への影響について、クリス・ジョーンズ氏が説明します。
ビデオおよびトランスクリプト
今日は、PM2.5と全粒子の放出量を測定する方法の開発についてお話したいと思います。
なぜ粒子状物質の放出が重要なのでしょう。あなたや私、そして他の人々が、その粒子状物質を吸い込む可能性があり、健康に深刻な影響を与える可能性があるため、重要なのです。
粒子のサイズは重要ですか?
粒子のサイズが小さければ小さいほど体内に入りやすくなり、体内に入れば入るほど体にダメージを与える可能性が高くなります。心血管疾患やがんの原因になることもあります。
すべての粒子状物質は同じですか?
答えは「ノー」です。粒子状物質の毒性が高いほど、体へのダメージが大きくなります。そのため、シリカ粉塵などの単純な粒子は、ヒ素などの有毒物質から発生する粉塵よりはるかに危険性が低くなります。
粒子状物質の測定における実際的な課題は何ですか?
国際的に認められた方法を使用することは非常に重要です。結果が本物であるという確信を得るためにも、その方法を適用することは重要です。
ダクトサンプリングまたはそれに近いサンプリングが前進への近道です。
ダクトフィルタおよびサイクロン工法を使用したPM2.5の全粒子モニタリングにより、エドワーズの機器からの粒子の大部分が2.5ミクロン未満であることを確認しました。
また、当社の湿式静電集塵機は、排気ガスから粒子を99.5%以上除去できます。
エドワーズは、高度に開発された分析法により、エドワーズの機器が効果的に粒子状物質を除去できていると確信しています。
クリス・ジョーンズ
環境ソリューション
事業開発マネジャー