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T-Stationターボ分子ポンプステーション

mXDS3ドライスクロールポンプステーション付きT-Station 300

低コストでコンパクトなターボ分子ポンプステーション

エドワーズのT-Stationポンプシステムは、ターボ分子ポンプ、厳選されたバックポンプ、およびシンプルなコントローラを結合し、排気速度は、47~300 L/秒です。納入後すぐに排気できます。 

T-Stationが理想的なソリューションである理由

  • 電源を入れるだけ:システム化が不要!
  • 低所有コストで堅牢な構造。
  • お客様による統合型制御機能。
  • ゴム脚と側面の切り欠き付きベースプレートにより、持ち運びが容易で、コンパクトな薄型ながら、転倒を防ぐ安定した設計。
  • 全金属製フレーム:堅牢設計により、過酷な使用でもひびや破損を防止
  • 幅広いバックポンプ、最新のオイルフリースクロールmXDS3sポンプ(排気速度2倍、向上した到達真空度、インレットバルブ付き)から選択できます。また、XDD1ドライダイヤフラムポンプまたはE2M1.5オイルシール式ポンプも利用できます。
  • 複数ファンを使用しない静音運転:一体型エアクーラが内部電源とポンプ/コントローラを冷却します。
  • 専用ボタン1つで始動/停止。
  • 読み取りやすい高精度ディスプレイ
  • ベントモード選択機能:TAV5通気弁を装着、ユーザー操作不要の自動ベントを実現。
  • 用途に応じてNW40、ISO63、またはCF63のいずれかのインレットフランジと併用可能。
  • ユーザーによる保守が可能:nEXT85Hターボ分子ポンプ。

T-Station 85

T-Station 85は、エドワーズのエントリーレベルのポンプステーションです。学術研究、試験所、小規模研究に最適です。汎用性、コンパクト性、信頼性に優れたT-Station 85は、使い手を選びません。ボタンを押すだけの簡単操作で真空機能を提供するように設計されています。

  • nEXT85Hターボ分子ポンプは、最大85 L/秒の排気速度を実現します
  • バックポンプラインナップ:
    • mXDS3はクリーンで、オイルフリーのドライスクロールポンプであり、排気速度は3 m3/時到達真空度は0.1 mbarです。さらに、電源異常時にポンプを保護するインレットバルブが装備されています。また、排気フィルタが装備されているため、エドワーズのコンパクトモデルのほとんどに適合します。
    • 排気速度1.2 m3/時XDD1ドライダイヤフラムポンプ
    •  排気速度1.6 m3/時E2M1.5オイルシール式ポンプ

T-Station 300

T-Station 300は、強力なターボ分子ポンプを備えた大容量オプションであり、中小規模の用途に最適です。このポンプステーションは、柔軟性と信頼性の高い性能をそのままに、高い排気能力を必要とする作業に対応しています。 

  • nEXT300Hターボ分子ポンプは、最大300 l/sの排気速度を実現します。
  • バックポンプラインナップ:
    • mXDS3はクリーンで、オイルフリーのドライスクロールポンプであり、排気速度は3 m3/時到達真空度は0.1 mbarです。また、電源異常時にポンプを保護するインレットバルブと、排気フィルタが装備されています。
    • 排気速度1.2 m3/時XDD1ドライダイヤフラムポンプ
    •  排気速度1.6 m3/時E2M1.5オイルシール式ポンプ
T-Stationターボ分子ポンプステーション - デジタルパンフレット
English
T-Station 85 Turbomolecular Pumping Station - Datasheet

PDF

1.7 MB

T-Station 300 Turbomolecular Pumping Station - Datasheet

PDF

835.7 kB

笑顔で廊下に立つEdwardsの従業員
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