Pompe turbomolecolari STP Maglev

Basse vibrazioni e zero manutenzione

sulle soluzioni per camere

Se avete bisogno di prestazioni costanti e affidabili con una manutenzione praticamente nulla, la nostra gamma di pompe turbomolecolari STP Maglev rappresenta lo standard. Il rotore è interamente sospeso mediante cuscinetti magnetici e perfetto per applicazioni che richiedono tempi di funzionamento elevati, pompaggio senza idrocarburi, manutenzione minima e basse vibrazioni.

Serie avanzata ad alta produttività

La serie avanzata offre elevati livelli di produttività, perfetti per i vostri processi di incisione di semiconduttori e CVD:

  • Ingombro compatto
  • Velocità di produttività da 300 l/s a 4.500 l/s
  • Produttività fino a 6 slm e aumento delle prestazioni H2, N2 e Ar.

Questa soluzione di pompa turbo completa elimina il cavo di collegamento e il rack convenzionalmente richiesto:

  • Riduzione dell'ingombro, risparmio di costosi immobili di produzione, tempo e costi di installazione
  • L'alimentazione (elettrica) integrata riduce il consumo di energia fino al 32% ad alti flussi di gas
  • Funzionamento con velocità di produttività da 300 l/s a 4.500 l/s

La serie ultra alto vuoto offre affidabilità, prestazioni, pulizia e livelli di vibrazione minimi ineguagliabili.

  • L'alimentazione C.C. elimina la necessità di batterie
  • Il controller a mezzo rack è dotato di messa a punto automatica e di funzioni diagnostiche avanzate
  • Velocità da 300 l/s a 1.000 l/s e flangia CF a pressione massima <10-10 mbar
  • È disponibile anche la versione "C" per processi pesanti

La versione ultra alto vuoto a basse vibrazioni incorpora tutte le caratteristiche della serie ultra alto vuoto più un tampone antivibrazioni integrato per offrire prestazioni di vibrazione ultra-basse.