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Pompa turbomolecolare STP Maglev Edwards

Pompe turbomolecolari STP Maglev

Basse vibrazioni e zero manutenzione

Sulle soluzioni per camere

Se hai bisogno di prestazioni costanti ed affidabili con zero manutenzione, la gamma di pompe turbomolecolari STP Maglev stabilisce un nuovo standard. Il rotore è completamente sospeso mediante cuscinetti magnetici, perfetti per le applicazioni che richiedono tempi di attività elevati, pompaggio senza idrocarburi, manutenzione minima e vibrazioni ridotte.

Serie avanzata ad alta produttività

La serie avanzata offre elevati livelli di produttività, perfetti per i tuoi processi di incisione di semiconduttori e CVD:

  • Ingombro ridotto
  • Velocità da 300 l/s a 4.500 l/s
  • Produttività fino a 6 slm e aumento delle prestazioni H2, N2 e Ar

Questa soluzione di pompa turbo completa elimina il cavo di collegamento e il rack convenzionalmente richiesto:

  • riduzione dell'ingombro, risparmio di costosi immobili di produzione, di tempo e costi di installazione
  • L'alimentazione integrata riduce il consumo di energia fino al 32% ad alti flussi di gas
  • Funzionamento con velocità da 300 l/s a 4.500 l/s

La serie ultra alto vuoto offre affidabilità, prestazioni, pulizia e livelli di vibrazione minimi ineguagliabili:

  • l'alimentazione CC elimina la necessità di batterie
  • il controller a mezzo rack è dotato di messa a punto automatica e di funzioni diagnostiche avanzate
  • velocità da 300 l/s a 1.000 l/s e flangia CF a pressione massima <10-10 mbar
  • è disponibile anche la versione "C" per processi pesanti

La versione ultra alto vuoto a basse vibrazioni incorpora tutte le caratteristiche della serie ultra alto vuoto più un isolante antivibrazioni integrato per offrire prestazioni di vibrazione ultra-basse.