Pompe a secco per semiconduttori

Il punto di riferimento globale nell'innovazione del vuoto

Più ecologiche e più affidabili con un costo di proprietà più basso

Le pompe a secco a basso consumo energetico iXM possono apportare reali miglioramenti di processo con un aumento dei tempi di attività, un ridotto impatto ambientale e vantaggi in termini di costi per le vostre applicazioni più critiche.

  • Il meccanismo Roots ad alta efficienza energetica può diminuire la potenza di ingresso fino al 60%, riducendo l'impatto ambientale e abbassando i costi di proprietà
  • La tecnologia di barriera contro i gas e le ottimizzazioni del design termico consentono una resistenza alla corrosione quattro volte superiore rispetto alla nostra serie precedente
  • Le funzioni avanzate di trattamento delle polveri offrono la massima affidabilità e una maggiore durata della pompa per i processi di incisione multistrato e un ridotto consumo di energia per i processi CVD
  • Il design compatto e leggero, combinato con una rumorosità e vibrazioni eccezionalmente basse, offre una maggiore versatilità
  • Disponibile con tecnologia Xcede per una maggiore resistenza alla corrosione.

La gamma di pompe a secco iXH stabilisce nuovi standard per le applicazioni industriali pesanti in termini di capacità, affidabilità e riduzione dei costi di proprietà.

  • L'ampio intervallo di temperatura consente di ottimizzare la pompa per un minimo accumulo di sottoprodotti da condensazione e placcatura
  • Le pompe a secco iXH Mk2 offrono una durata ancora maggiore nei processi più difficili e possono fornire significativi miglioramenti nell'efficienza energetica
  • L'innovativa tecnologia delle tenute per pompe può allungare la durata del processo e ridurre i rischi di perdite
  • Disponibile con tecnologia Xcede per una maggiore resistenza alla corrosione.

La serie iXL è una gamma di pompe a secco compatte a basso consumo energetico per applicazioni leggere come movimentazione di wafer, PVD e metrologia.

  • Rapida evacuazione della camera e consumo energetico estremamente basso 
  • Le pompe a secco iXL600(N) e iXL1000(N) sono tra le più piccole e silenziose pompe disponibili per applicazioni leggere 
  • Le varianti iXL600M e iXL1000M sono polimerizzate mediante processo e appositamente progettate per l'incisione dielettrica (ossido) e altre applicazioni simili 
  • Le pompe a secco iXL600(N) e iXL1000(N) sono caratterizzate da un'elevata velocità di pompaggio e da un basso consumo energetico
  • Il modello iXL900R è la pompa per blocco di carico più veloce attualmente disponibile nella categoria per applicazioni a blocco di carico FPD. I clienti possono ridurre significativamente i loro costi operativi e i tempi di installazione con questa nuova pompa, che è particolarmente adatta alle più grandi camere di blocco di carico utilizzate per le applicazioni di deposizione dei vapori del plasma (PVD). Inoltre, avranno bisogno di un minor numero di pompe per camera di blocco di carico, il che riduce il tempo di installazione, i costi di sistemizzazione, gli interventi di manutenzione e i consumi.
  • La funzione Green Mode consente di ridurre i consumi durante i periodi di inattività, abbassando i costi e contribuendo a migliorare le prestazioni ambientali
Contattateci. Trovate il vostro esperto locale oggi stesso.