Nos produits

Nous nous soucions de la durabilité et unissons nos efforts pour que nos activités et nos méthodes de travail deviennent plus durables. Nous avons apporté plusieurs modifications majeures à la conception de nos produits en fonction de considérations environnementales. Lorsque nous concevons et développons nos produits, nous tenons compte de la consommation des ressources. Nous veillons particulièrement à réduire la consommation d’eau et d’électricité car l’utilisation efficace des ressources permet de réduire drastiquement le coût d’exploitation des installations.

Émissions de carbone réduites des produits de dernière génération

Pompes primaires

Réduction de la consommation d’énergie de nos clients dans l’industrie des semi-conducteurs. Les pompes à vide sont parmi les plus grandes consommatrices d’énergie pour un équipement qui peut, à son tour, représenter plus du tiers de la consommation d’énergie d’une usine (recherche SEMATECH Energy). Le parc mondial de pompes à vide pour semi-conducteurs consomme la même quantité d’énergie que Sheffield au Royaume-Uni ou Plano au Texas, États-Unis.

Nous concevons de façon à réaliser des économies d’énergie et réduire les coûts d’utilisation, sans compromettre la fiabilité. Grâce à un processus de conception de plateforme, chaque génération successive de nos pompes primaires consomme moins d’énergie. Par exemple, les pompes sèches de dernière génération consomment environ 30 % moins d’énergie qu’auparavant. Actuellement, avec l’introduction de l’Active Utility Control (AUC), nous réduisons encore davantage la consommation d’énergie et des services lorsque les pompes sont mises en veille grâce à des signaux provenant de l’équipement de production.

Nous veillons à ce que les avantages de notre technologie de dernière génération soient exploités dans toute notre gamme de pompes. Ces avantages sont mis à la disposition des clients utilisant des pompes de plus ancienne génération grâce aux programmes de mise à niveau d’efficacité énergétique d’Edwards.

Nous expliquons également à nos clients comment minimiser l’énergie utilisée par nos équipements.

Pompes secondaires

La réduction de la consommation énergétique mondiale est la clé de la lutte contre le réchauffement climatique. En plus de minimiser la consommation d’énergie de nos sites de production et de nos bureaux, nos gammes de pompes turbomoléculaires de dernières générations permettent à nos clients d’atteindre leurs objectifs de réduction de consommation d’énergie. Edwards propose des programmes de mise à niveau permettant aux clients de passer à la technologie de pompe turbomoléculaire à haut rendement énergétique.

Le passage des pompes à diffusion d’huile aux pompes turbomoléculaires STP a notamment pour avantages :

  • Réduction des coûts de consommation des services de distribution (énergie et eau)
  • Absence d’entretien annuel ou de changement d’huile
  • Performances de pompage accrues
  • Réduction du bruit et des vibrations
  • Encombrement réduit

Traitement des effluents gazeux

Les procédés de fabrication des semi-conducteurs nécessitent l’utilisation de gaz, comme les hydrocarbures fluorés et l’hexafluorure de soufre, qui présentent un risque environnemental élevé en raison de leur persistance et de leur potentiel de réchauffement de la planète (PRP) élevé. Ces substances peuvent avoir un PRP 1 000 fois supérieur à celui du dioxyde de carbone. Par exemple : si le CO2 a un potentiel de réchauffement de la planète (PRP) de 1 sur 100 ans, le SF6 a un PRP de 23 500 sur la même période, le NF3 de 16 100 et le CF4 de 6 630.  (Source : cinquième rapport d’évaluation du GIEC, 2014.)

Nous aidons nos clients à atteindre des niveaux élevés de destruction et d’élimination de ces substances depuis le milieu des années 1990, grâce à notre technologie de traitement des gaz par combustion. Plus récemment, grâce à la technologie plasma, nos clients ont été en mesure d’obtenir des réductions de CO2 supérieures à 90 % sur l’ensemble des usines de fabrication, conformément aux objectifs du World Semiconductor Council. Pour la production d'écrans plat et de dispositifs environnementaux émergents, tels que les panneaux solaires et les éclairages à LED, nous avons développé les systèmes de traitement des gaz Spectra Z et Spectra G afin de faire face à des débits de gaz plus élevés.

Nos produits de traitement des gaz Atlas utilisent jusqu’à 50 % de carburant en moins que les gammes précédentes. Edwards propose également la technologie Atlas en vue d’effectuer une mise à niveau énergétique par rapport aux gammes précédentes de systèmes de traitement des gaz. En associant pompes à vide et systèmes de traitement des gaz, nous économisons aussi de l’énergie grâce à une technologie « mode ralenti » innovante.