BURGESS HILL, WEST SUSSEX, Spojené království (29. května 2019) – Mezivládní panel pro změnu klimatu (IPCC), který je orgánem Organizace spojených národů pro hodnocení vědy související se změnou klimatu, nedávno zveřejnil nejnovější upřesnění svých pokynů z roku 2006. V rámci úsilí o řešení změny klimatu zpřísňují zdokonalené předpisy kontrolu nových skleníkových plynů používaných při výrobě polovodičů a zvyšují požadavky na podávání zpráv a odpovědnost výrobců.
„Panel IPCC uznal, že existuje nesrovnalost mezi objemem skleníkových plynů naměřeným v atmosféře a objemem vypočteným na základě známých zdrojů emisí,“ řekl profesor Mike Czerniak, hostující profesor pro průmysl z bristolské univerzity a vedoucí pro obchodní rozvoj ekologických řešení ve společnosti Edwards. „Nesrovnalost se týká zejména plynů, jako jsou perfluorované sloučeniny (PFC), které mají nejen mimořádně vysoký potenciál pro globální oteplování (GWP), ale také mimořádně dlouhou životnost v atmosféře, a to po dobu 50 000 let.“Byly zjištěny dva nové mechanismy tvorby PFC během výroby polovodičů a do poslední úpravy předpisů IPCC byly přidány emisní faktory:1) tvorba CF4 při čištění komorových usazenin pro chemickou parní depozici (CVD).2) tvorba CF4 reakcí fluoru s uhlovodíkovým palivem v systémech odtahu na bázi spalování, které směšují odtok z palivové a procesní komory.
„Vůbec poprvé je zde nový emisní faktor pro odtah fluoru na bázi spalování – přímé účtování je nyní vyžadováno v podobě datově podložené certifikace od výrobce zařízení, že reakce je minimalizována,“ řekl profesor Czerniak. „Tvorbu PFC lze minimalizovat vhodným způsobem spalování.“Vnitřní kombustor společnosti Edwards předchází mísení komorového výfukového plynu a paliva, které může v jiných konstrukcích vést k tvorbě PFC, i když se v původním výfukovém proudu nenacházely. Nižší, rovnoměrnější teplotní profil vnitřního kombustoru zajišťuje vysokou účinnost odstraňování emisí (DRE) s nízkou tvorbou NOx. Od té doby, co společnost začala tyto systémy v 90. letech vyvíjet, se na systémech odtahu společnosti Edwards standardně montují kombustory.Navštivte společnost Edwards (stánek č. 750) během veletrhu SEMICON West a dozvíte se více o nejnovějších předpisech IPCC a osvědčených postupech pro snižování emisí skleníkových plynů. SEMICON West se koná od 9. do 11. července 2019 v San Francisku v Kalifornii.
