BGV Stainless Steel Gate Valve with LOTO Safety Feature - Datasheet
適用於真空系統的閘閥
VAT 閘閥適用於較高的整體密封性
為何選擇閘閥？
閘閥提供簡單卻創新的楔形、無潤滑脂密封機構、不鏽鋼結構和堅固耐用的設計。
這些閥門特別適合氣流中製程副產物較高的應用，這些閥在嚴苛環境中具有長久使用壽命與可靠性。
BGV 手動閘閥
BGV 閘閥是波紋管式密封不鏽鋼閘閥，適用於需要高密封性與真空系統中最少碳氫化合物的應用。雖然 BGV 閘閥主要設計用於隔離半導體晶圓廠地下室的泵浦，但也非常適合在開啟處需要 1 巴差分的其他應用中使用。
其設計適用於 1.2 巴絕對壓力至 1 x 10‑8 mbar (1.2 x 105 至 1x10‑6 Pa) 的壓力範圍。BGV 閘閥在任一方向均可承受 1.2 巴的絕對壓力，允許在閥門關閉的情況下對泵浦上方的真空管路進行排氣。BGV 手動閥會在組件開啟時，以視覺方式指示組件側邊的閘位。
- 能夠在任一方向完全承受 1.2 巴。在保養期間讓泵浦保持運轉，避免重新啟動問題。
- 不鏽鋼結構與堅固耐用的設計。
- 在嚴苛環境中提供長久的使用壽命與可靠性
- 氣動電磁圈和預先配線選項。
- 預先配置的簡單「即插即用」安裝。
- 簡單的無潤滑脂密封機構。將多塵製程中微粒所造成的損壞降至最低。
BGV 手動閘閥
BGV MK3 氣動閘閥
BGV MK3 氣動閘閥
BGV Mk3 氣動閘閥的運作方式與手動閘閥相同，但氣動閥有磁簧開關，可讓您的控制設備使用此開關來判斷閥是開啟或關閉，這些裝置也包含 LED，可以視覺顯示閥位置。
每個 BGV Mk3 氣動閥均配備 24V d.c. 電磁圈及預先配線插頭，可直接連接愛德華最新一代真空泵浦 (iHH、iXL、iXM 和 GXS)。這款 15 針 D-sub 插座插頭提供連接電磁圈電源的單點，並從磁簧開關位置指示燈啟動 LED。BGV 閥可選配 15 針「D」型插座纜線與磁簧開關位置指示器。但是，纜線長度僅約為 50 公分，需要較長的延長線才能連接泵浦或本機控制器。
若要將 BGV Mk3 氣動閥連接至愛德華舊式產品，應使用 BGV Mk2 TIM 介面纜線。LED 的功能在舊式產品 (iGX、GX 或透過 iTIM 模組的 iQ 和 iH) 上不可用，因為泵浦不提供 DC 24V 電源來啟動 LED。然而，閥門定位指示器的基本功能可在不需要電力的情況下開啟和關閉，並由磁場觸發。
- 能夠在任一方向完全承受 1.2 巴。在保養期間讓泵浦保持運轉，避免重新啟動問題。
- 不鏽鋼結構與堅固耐用的設計。在嚴苛環境中提供長久的使用壽命與可靠性。
- 氣動電磁圈和預先配線選項。
- 預先配置的簡單「即插即用」安裝。
- 簡單的無潤滑脂密封機構。將多塵製程中微粒所造成的損壞降至最低。
- 另外也提供上鎖掛牌 (LOTO) 版本。
手動與氣動 BGV 閘閥如何運作？
創新的簡易楔形密封機構結合 PEEK 平滑器，使此閥門特別適合用於氣流中製程副產物含量較高的應用：
- 閥內沒有油、潤滑脂或複雜的移動零件，可免除因製程碎屑污染而導致機構受損的風險
- PEEK 平滑器不提供金屬對金屬的接觸，並用於控制 O 形環的壓縮
- 當閘門關閉時，O 形環在密封前會短暫地刷過密封表面，以協助清除密封表面上的碎屑，進而提供更好的密封
具有 LOTO 安全功能的 BGV 不鏽鋼閘閥
BGV LOTO 氣動閘閥包含標準 BGV 系列的所有優點，具備 LOTO 安全功能與低功率。
BGV LOTO 閘閥是波紋管式密封不鏽鋼閘閥，適用於需要高密封性與真空系統中最少碳氫化合物的應用。雖然 BGV 閥主要設計用於隔離半導體晶圓廠地下室的泵浦，但也非常適合在開啟處需要 1 巴差分的其他應用中使用。
獨特的上鎖掛牌 (LOTO) 安全機構可讓人員在真空系統上自由運作，無需擔心閥門意外開啟。使用插銷將閥門鎖定關閉以防止其打開，進而使閥門保持實體關閉。如果閥門需要上鎖，可透過 LOTO 插銷插入鎖定搭扣並掛鎖。
其設計適用於 1.2 巴絕對壓力至 1 x 10‑9 mbar (1.2 x 105 至 1x10‑7 Pa) 的壓力範圍。BGV 閥在任一方向均可承受 1.2 巴的絕對壓力，允許在閥門關閉的情況下對泵浦上方的真空管路進行排氣。
僅 1 W 的低功率致動要求可直接連接到愛德華最新一代乾式泵浦系列，無需任何額外的外部電源，有助於「即插即用」的簡單安裝。
您的控制設備可使用磁簧開關來判斷閥是開啟或關閉，這些裝置也包含 LED，可以視覺顯示閥位置。每個閥門均配備 24V d.c. 電磁圈及預先配線插頭，可直接連接愛德華最新一代真空泵浦。這款 15 針「D」型插座插頭為電磁圈的電源和來自磁簧開關位置指示器的訊號提供單點連接。BGV 閥可選配 15 針「D」型插座纜線與磁簧開關位置指示器。但是，纜線長度僅約為 50 公分，需要較長的延長線才能連接泵浦或本機控制器。
若要將 BGV LOTO 氣動閥連接至愛德華舊式產品，應使用 BGV TIM 介面纜線。LED 的功能在舊式產品上無法使用，因為泵浦不提供 DC 24V 電源來啟動 LED。
BGV 不鏽鋼 LOTO 安全
具有 LOTO 安全功能的 BGV 不鏽鋼閘閥如何運作？
創新的簡易楔形密封機構結合 PEEK 平滑器，使此閥門特別適合用於氣流中製程副產物含量較高的應用：
- 閥內沒有油、潤滑脂或複雜的移動零件，可免除因製程碎屑污染而導致機構受損的風險
- PEEK 平滑器不提供金屬對金屬的接觸，並用於控制 O 形環的壓縮
- 當閘門關閉時，O 形環在密封前會短暫地刷過密封表面，以協助清除密封表面上的碎屑，進而提供更好的密封
- LOTO 閥可牢固鎖定。在保養期間提供安全的工作環境
- 僅 1 W 低功率致動，直接連接愛德華最新一代乾式泵浦
- 能夠承受任一方向 1.2 巴的絕對壓力。讓泵浦在保養期間繼續運轉
- 氣動電磁圈和預先配線選項。預先配置的簡單「即插即用」安裝
- 不鏽鋼結構與堅固耐用的設計。在嚴苛環境中提供長久的使用壽命與可靠性
- 簡單的無潤滑脂密封機構。將多塵製程中微粒所造成的損壞降至最低
使用 BGV LOTO 氣動閥時
BGV LOTO 氣動閥可直接插入我們最新一代的乾式真空泵浦，以發揮完整功能性。最新一代產品包括：iXH、iXL、iXM 和 GXS 泵浦。
若要將 BGV LOTO 氣動閥連接至我們的舊式產品，應使用 BGV Mk2 TIM 介面纜線。舊式產品包括：iGX、GX (或透過 iTIM 模組的 iQ 和 iH) 泵浦。
適用於超高真空與高烘烤溫度的 HVA 閘閥
GV1040M
GV 手動和氣動閘閥
不鏽鋼、波紋管式密封閘閥 GV 系列是專為在殘餘大氣中需要整體密封性和最少碳氫化合物的應用而設計。
這些優質閥門可提供高真空完整性，同時具備最大氣導性。此閥門提供 ISO、CF (金屬密封) 法蘭選項，適用於需要增加烘烤溫度的超高真空應用。
不鏽鋼閥體採用真空硬焊處理，此特殊製程包括以 1100˚C 的烘烤。如此一來便可排除虛漏的可能性，並確保產品的低除氣特性。
雷射焊接的不鏽鋼波紋管能有效地將致動器從閥門密封。此概念使其易於維修，並可於閥門仍在原位時移除閘門及連桿機構。
- 原位移除閘門與連桿機構方便維修。
- 由於以真空硬焊製造，因此可免除虛漏的狀況。
- 內外皆經過電解拋光處理。
- 輕巧設計，氣導性高。
- 手動或氣動選項。
- 微型開關位置指示器為適用於磁場的氣動版本標準配備。
- 保養間隔之間的使用時間長。
- 低震動與衝擊。
- 自由選擇方向。
- 具有從 40 公釐/1.56 英吋孔徑至 320 公釐/12.48 英吋孔徑的各種選擇。
- 法蘭選項 – ISO、CF (金屬密封)
- 真空硬焊可達 1100˚C，以免除虛漏。
- 資料表
BGV Stainless Steel Gate Valve - Datasheet
