渦輪分子泵浦是一種多段式軸流渦輪,其中高速旋轉葉片可增加氣體在泵抽氣方向的移動機率,從而提供壓縮力。這款渦輪分子泵浦已針對分子流動狀況進行優化,並且需要合適大小的支援泵浦以便將氣體排入大氣。
nEXT 渦輪分子泵浦是基於數十年的經驗基礎製造,並且借鑑了我們久經考驗且值得信賴的 EXT 與 STP 系列。nEXT 泵浦提供卓越的效能、可靠性和終端使用者可維修性,從而為科學渦輪分子泵浦樹立標竿。
nEXT85 基於廣受歡迎的 EXT 系列而製造,具備提升的效能、改良的特性和效益,優點眾多,並且佔地面積更小。愛德華產品經理 John Wood 在此向您介紹這款出色的全新渦輪分子泵浦。
透過 nEXT730 和 nEXT930,愛德華擴展我們市場領先的 nEXT 產品系列,提供兩種更大的全新泵浦,對於氮氣可供應顯著超過 700 l/s 和 900 l/s 的速度。
除了針對有時需要更快抽氣速度在一般研究與開發市場以外,這些泵浦的設計也能符合塗佈應用市場和其他擴散應用市場的需求,例如熱處理、鍋爐應用、電子束焊接、蝕刻、離子佈植、除氣和汽缸排空。
我們已生產出超過 80,000 部通過試驗且備受信賴的 nEXT 泵浦,現在正在為全新、更嚴苛部門與應用帶來更高的抽氣速度和提升的靈活性。這些全新機型透過 ISO / CF 160 和 ISO/CF 200 的進氣口法蘭選項擴展了 nEXT 的功能,實現超過 900 l/s 的抽氣速度。
提供同級領先的效能,以及高可靠性與低持有成本。
nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
進氣口法蘭 | DN40 | DN63 ISO-K 或 DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K 或 DN100CF | DN100 ISO-K 或 DN100CF | DN160 ISO-K 或 DN160-CF | |
進氣口抽氣速度為 -1 | N2 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
Ar | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
He | 61 | 78 | 80/78 (D/H) | 230 | 340 | 390 | |
H2 | 49/44 (D/H) | 60/54 (D/H) | 60/54 (D/H) | 165 | 280 | 325 | |
壓縮比 (D) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
Ar | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |
He | 8 x 106/2 x 107 (D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | |||
H2 | 2 x 105/5 x 105 (D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | |||
壓縮比 (T/H) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |||
He | 1 x 106 | 3 x 106 | >1 x 108 | ||||
H2 | 1.5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 |
nEXT730D | nEXT930D | |||
ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | |
主進氣口 抽氣速度 |
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N2 為 -1 | 730 | 925 | ||
He 為 -1 | 820 | 905 | ||
H2 為 -1 | 715 | 735 | ||
Ar 為 -1 | 665 | 865 | ||
從主要進氣口到初級段入口都有峰值壓縮比 | ||||
N2 | >1x1011 | >1x1011 | ||
He | 1.2X108 | 1.2X108 | ||
H2 | 4X106 | 4X106 | ||
Ar | >1x1011 | >1x1011 | ||
極限真空壓力 (mbar) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | ||
重量 (kg) | 14.6 | 19.6 | 15.4 | 21.7 |
全速時的抽速氣體通量: | ||||
N2 | 14 | 14 | ||
He | 21 | 21 | ||
H2 | >14 | >14 | ||
Ar | 3.5 | 3.5 |