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nEXT 機械渦輪分子泵浦

愛德華 nEXT 機械渦輪分子泵浦

渦輪分子泵浦是一種多段式軸流渦輪,其中高速旋轉葉片可增加氣體在泵抽氣方向的移動機率,從而提供壓縮力。這款渦輪分子泵浦已針對分子流動狀況進行優化,並且需要合適大小的支援泵浦以便將氣體排入大氣。   

來自 nEXT 系列的傑出效能

nEXT 經特別設計,結合所有最先進的渦輪分子泵浦創新技術,推出氮氣抽氣速度 55、85、240、300、400、730、925 和 1250 l/s 的泵浦尺寸,從而提供終端使用者可維修性和真正領先同級的產品。

nEXT55 與 nEXT85 渦輪分子泵浦

nEXT55 和 nEXT85 是 nEXT 系列中最輕巧的機種,高度大幅降低、性能表現更佳、封裝更小,可提供 55 l/s 和 85 l/s 的氮氣抽氣速度。在同級泵浦中,它們可提供最高抽氣密度,且具有類似尺寸渦輪泵浦近兩倍快的抽氣速度。

nEXT240、nEXT300 和 nEXT400 渦輪分子泵浦

nEXT240、nEXT300 和 nEXT400 為科學渦輪分子泵浦樹立了標竿,這些泵浦是基於數十年的經驗打造而成,並以我們通過試驗且備受信賴的 EXT 與 STP 系列為基礎。針對這幾款長青機型,我們提供各種尺寸與版本,為 OEM 和終端使用者提供更多選項,以及量身打造最合適真空解決方案所需的彈性,以因應個別需求。

nEXT730、nEXT930 和全新 nEXT1230 渦輪分子泵浦

愛德華擴展市場領先的 nEXT 平台系列,推出兩款較大型的泵浦 nEXT730 和 nEXT930,可提供大於 730 l/s 和 925 l/s 的氮氣抽氣速度。現在,我們將再次擴展此系列,納入可提供 1250 l/s 氮氣抽氣速度的 nEXT1230。這些輕巧型泵浦能在任何方向配置下運作,並具備冷卻、排氣,電源和控制的全方位配件支援。

這些泵浦不僅因應有時需要更快抽氣速度的一般研究與開發市場需求外,其設計也能滿足塗佈市場和其他多樣市場區塊的需求,例如熱處理、鍋爐應用、電子束焊接、蝕刻、離子佈植、除氣和汽缸排空。

nEXT55

nEXT1230

nEXT55 和 85

nEXT240、300、400

nEXT730、930、1230

 

我們已生產超過 100,000 部通過試驗且備受信賴的 nEXT 泵浦,並將為全新、需求條件更嚴苛的產業區塊與應用帶來更高的抽氣速度和更優異的靈活性。這些全新機型透過 DN ISO / CF 160 和 DN ISO / CF 200 的進氣口法蘭選項進一步擴展 nEXT 的功能。

更多影片!

傑出的抽氣速度和壓縮比

優異的效能

超大型渦輪分子泵浦安裝底座

讓人無比安心、經驗證的可靠性

提供客製化的設計服務

靈活解決方案

整合智慧型控制器

使用簡便

終端使用者完全可維修

使用壽命延長而且持有成本低廉

增加使用者選擇性

多種標準機型

  nEXT55 nEXT85 nEXT240 nEXT300 nEXT400
進氣口法蘭   DN63 ISO-K 或 DN63CF DN40 DN63 ISO-K 或 DN63CF DN100 ISO-K  DN100 ISO-K  或 DN100CF DN100 ISO-K  或 DN100CF DN160 ISO-K  或 DN160-CF
進氣口抽氣速度為 -1 N2 55 47 84 84 240 300 400
Ar 55 44 80 80 230 280 380
He 41 61 78 80/78 (D/H) 230 340 390
H2 27 49/44 (D/H) 60/54 (D/H) 60/54 (D/H) 165 280 325
壓縮比 (D) N2 >1  x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
Ar >1  x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He   8 x 106/2 x 107 (D/H) 3 x 105 1 x 106 1 x 108
H2   2 x 105/5 x 105 (D/H) 1 x 104 5 x 104 5 x 105
壓縮比 (T/H) N2         >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He         1 x 106 3 x 106 >1 x 108
H2         1.5 x 104 1 x 105 1 x 106
  nEXT730D nEXT930D nEXT1230
ISO-K 160 CF 160 ISO-K 200 CF 200 DN 200 CF DN 200 ISO-F DN 200 ISO-K
主進氣口
抽氣速度
 
N2 為 -1 730 925 1250
He 為 -1 820 905 1150
H2 為 -1 715 735 1350
Ar 為 -1 665 865 1150
從主要進氣口到初級段入口都有峰值壓縮比  
N2 >1x1011 >1x1011 1 x 1011
He 1.2X108 1.2X108 4 x 108
H2 4X106 4X106 1 x 107
Ar >1x1011 >1x1011 1 x 1011
極限真空壓力 (mbar) (CF) 3.0X10-10 3.0X10-10 <5 x 10-10 表示 ISO-K 和 ISO-F 的壓力較高
重量 (kg) 14.6 19.6 15.4 21.7 32.6 24.9 23.7
全速時的抽速氣體通量:  
N2 14 14 12
He 21 21 <20
H2 >14 >14 <20
Ar 3.5 3.5 4.
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